Quá trình nung tro bằng tia hồng ngoại

Wed, 03 Jun 2026 10:18:34 +0800

Trên sàn sản xuất, ashing không phải là chuyện có thể bỏ qua—đó là bước nhiệt để loại bỏ hoàn toàn photoresist mà không làm ảnh hưởng đến các màng phía dưới. Nếu nhiệt độ lệch hoặc đặc tuyến nhiệt bị sụt, sẽ để lại dư lượng. Hiệu suất sản phẩm bị ảnh hưởng, và lớp lithography phải chịu thiệt hại.

Điều quan trọng bên trong

Chúng tôi xây dựng hệ thống gia nhiệt ashing dựa trên hồng ngoại sóng ngắn, sử dụng mảng phát xạ quartz-halogen phản hồi nhanh và lặp lại chính xác. Kết quả đạt được là độ đồng đều nhiệt độ trên wafer trong phạm vi ±0,1°C trên toàn bộ vùng nung, cùng kiểm soát nhiệt độ giữ nguyên điểm đặt trong suốt chu trình loại bỏ. Hệ thống vận hành trong phòng sạch Class 1–100 với phát sinh hạt bằng không, được xác minh bằng giám sát tại chỗ. Thiết bị duy trì công suất ổn định trên 5.000 giờ hoạt động, với độ lệch cường độ dưới 5%.

Quy Trình on Infrared Quartz Heat Solutions

Quá trình nung tro bằng tia hồng ngoại