http://infra-quartz-heat.com/uk/tags/%D0%BF%D0%BE%D1%81%D1%82/ Recent content in Пост on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo uk Thu, 25 Jun 2026 05:15:02 +0800 http://infra-quartz-heat.com/uk/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Thu, 25 Jun 2026 05:15:02 +0800 http://infra-quartz-heat.com/uk/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Нагрівач для обробки після впливу випромінювання (PEB)"></p> <p>На поверхні камери для літографії похибка температури PEB є причиною відхилень параметрів CD та дрейфу профілів. Навіть незначна нерівномірність температури на всій площі пластини у розмірі 1°C достатня, щоб профілі фотополімеру вийшли за межі допустимих значень, що призводить до марнування годин роботи. Ми створили спеціальні нагрівачі PEB для підтримки стабільної температури протягом усього процесу обробки, незалежно від серії продукції.</p> <p><strong>Що є важливим у цьому процесі</strong><br> Ми використовуємо галогенові елементи короткохвильового інфрачервоного світла за кварцовим склом для швидкого та ефективного нагрівання. Рівномірність температури на всій площі пластини залишається на рівні ±0,1°C, а точність виконання процедури – у мілісекундах. Таким чином, однакові умови температурного режиму зберігаються як для першої, так і для 1000-ї серії продукції. Компоненти придатні для використання у чистих кімнатах класу 1–100; матеріали, з яких вони виготовлені, мають низький рівень випаровування, а процес їх використання контролюється для уникнення появи частинок. Відсутність утворення частинок під час нагрівання є очевидним фактом – це підтверджується безпосереднім контролем через систему вимірювання частинок біля самого обладнання.</p>