http://infra-quartz-heat.com/uk/tags/%D0%B7%D0%BE%D0%BD%D0%BE%D0%B2%D0%B0%D0%BD%D0%BE/ Recent content in Зоновано on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo uk Thu, 02 Jul 2026 09:40:56 +0800 http://infra-quartz-heat.com/uk/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Thu, 02 Jul 2026 09:40:56 +0800 http://infra-quartz-heat.com/uk/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Зоноване опалення для сучасних фабрик з виробництва пластин"></p> <p>На виробничій лінії достатньо зміни температури на 1°C під час процесу нагрівання фоторезисту, щоб це вплинуло на критичні розміри деталей та призвело до зіпсування великої кількості пластин. У звичайних печах нагрівається сама камера, а не сама пластина. Ми створили систему зонованого нагріву, яка дозволяє направляти тепло саме на пластину, при цьому зберігаючи температурний баланс у всіх зонах.</p> <p><strong>Що є важливим з технічної точки зору</strong><br> Наші модулі зонованого інфрачервоного нагріву забезпечують однорідність температури на поверхні пластини в межах ±0,1°C у активній зоні. Повторюваність значень температури залишається в межах ±0,5°C навіть після тисяч циклів. Короткохвильові випромінювачі дозволяють швидко досягти потрібних температур, а конструкція без використання вуглецевих волокон зменшує кількість частинок у необхідних зонах – у середовищах класу 1–100. Система працює 24/7 завдяки механізму компенсації температурних змін, що забезпечує стабільну продуктивність протягом понад 5 000 годин.</p>