http://infra-quartz-heat.com/uk/tags/%D0%B7%D0%B0%D1%81%D0%B8%D0%BF%D0%B0%D0%BD%D0%BD%D1%8F-%D0%BF%D0%BE%D0%BF%D0%B5%D0%BB%D0%BE%D0%BC/ Recent content in Засипання Попелом on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo uk Wed, 03 Jun 2026 10:18:34 +0800 http://infra-quartz-heat.com/uk/posts/ashing-process-heating-infrared/ Wed, 03 Jun 2026 10:18:34 +0800 http://infra-quartz-heat.com/uk/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Процес спікання нагрівання інфрачервоним випромінюванням"></p> <p>На виробничому майданчику осадження — це не опція, а термічний етап, що видаляє фоторезист повністю, не пошкоджуючи шари під ним. Якщо температура відхиляється або профіль падає, з’являються залишки. Вихід продукції за лінією знижується, і лінійка для літографії страждає.</p> <p><strong>Що важливо під капотом</strong><br> Ми побудували нагрівач для осадження на основі короткохвильового інфрачервоного випромінювання, використовуючи кварцево-галогенний масив випромінювачів, який швидко і стабільно реагує. В результаті отримуємо однорідність на рівні пластини в межах ±0.1°C по всій зоні випікання та контроль температури, що підтримує задане значення протягом усього циклу зняття шару. Система працює в чистих приміщеннях класу 1–100 без генерації часток, що підтверджується ін-ситу моніторингом. Вихідна потужність стабільна понад 5,000 годин із дрейфом інтенсивності менш ніж 5%.</p>