http://infra-quartz-heat.com/uk/tags/%D0%B3%D0%B0%D0%BB%D0%BE%D0%B3%D0%B5%D0%BD%D0%B8/ Recent content in Галогени on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo uk Fri, 03 Jul 2026 15:32:00 +0800 http://infra-quartz-heat.com/uk/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ Fri, 03 Jul 2026 15:32:00 +0800 http://infra-quartz-heat.com/uk/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Галогенний випромінювач в інфрачервоному діапазоні для сушіння пластин"></p> <p>На виробничій лінії один лише дефект на поверхні пластини може зруйнувати цілу партію продукції. Традиційні методи сушіння є складними – з одного боку є тепловий стрес, а з іншого – ризик забруднення частинок. У процесі літографії неможливо допустити жодних похибок: навіть зміна температури на 0,5°C під час обробки фоточутливого шару може пошкодити критичні параметри пластини. Ми створили галогенний ІЧ-випромінювач для сушіння пластин, щоб усунути ці похибки.</p> <p><strong>Що є важливим з технічної точки зору</strong><br> Усередині кварцового корпусу знаходиться лампа короткохвильового галогенного світіння, яка забезпечує пряме ІЧ-випромінювання з часом реакції менше секунди. Ми підтримуємо однорідність температури в цільовій зоні при значенні ±0,1°C, а система закритого контролю забезпечує однакові параметри сушіння при кожному циклі. Система працює без жодних проблем у чистих приміщеннях класу 1–100, а тепловий профіль залишається стабільним – це дозволяє зберегти тепловий баланс пластини під час сушіння, без наслідків для її структури.</p>