http://infra-quartz-heat.com/uk/tags/%D0%B2%D1%96%D1%84%D0%BB%D0%B5%D1%94%D0%BC/ Recent content in Віфлеєм on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo uk Fri, 03 Jul 2026 15:32:00 +0800 http://infra-quartz-heat.com/uk/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ Fri, 03 Jul 2026 15:32:00 +0800 http://infra-quartz-heat.com/uk/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Галогенний випромінювач в інфрачервоному діапазоні для сушіння пластин"></p> <p>На виробничій лінії один лише дефект на поверхні пластини може зруйнувати цілу партію продукції. Традиційні методи сушіння є складними – з одного боку є тепловий стрес, а з іншого – ризик забруднення частинок. У процесі літографії неможливо допустити жодних похибок: навіть зміна температури на 0,5°C під час обробки фоточутливого шару може пошкодити критичні параметри пластини. Ми створили галогенний ІЧ-випромінювач для сушіння пластин, щоб усунути ці похибки.</p> <p><strong>Що є важливим з технічної точки зору</strong><br> Усередині кварцового корпусу знаходиться лампа короткохвильового галогенного світіння, яка забезпечує пряме ІЧ-випромінювання з часом реакції менше секунди. Ми підтримуємо однорідність температури в цільовій зоні при значенні ±0,1°C, а система закритого контролю забезпечує однакові параметри сушіння при кожному циклі. Система працює без жодних проблем у чистих приміщеннях класу 1–100, а тепловий профіль залишається стабільним – це дозволяє зберегти тепловий баланс пластини під час сушіння, без наслідків для її структури.</p> http://infra-quartz-heat.com/uk/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Thu, 02 Jul 2026 09:40:56 +0800 http://infra-quartz-heat.com/uk/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Зоноване опалення для сучасних фабрик з виробництва пластин"></p> <p>На виробничій лінії достатньо зміни температури на 1°C під час процесу нагрівання фоторезисту, щоб це вплинуло на критичні розміри деталей та призвело до зіпсування великої кількості пластин. У звичайних печах нагрівається сама камера, а не сама пластина. Ми створили систему зонованого нагріву, яка дозволяє направляти тепло саме на пластину, при цьому зберігаючи температурний баланс у всіх зонах.</p> <p><strong>Що є важливим з технічної точки зору</strong><br> Наші модулі зонованого інфрачервоного нагріву забезпечують однорідність температури на поверхні пластини в межах ±0,1°C у активній зоні. Повторюваність значень температури залишається в межах ±0,5°C навіть після тисяч циклів. Короткохвильові випромінювачі дозволяють швидко досягти потрібних температур, а конструкція без використання вуглецевих волокон зменшує кількість частинок у необхідних зонах – у середовищах класу 1–100. Система працює 24/7 завдяки механізму компенсації температурних змін, що забезпечує стабільну продуктивність протягом понад 5 000 годин.</p>