Вафелька on Infrared Quartz Heat Solutions

Датчик температури для інструментів для обробки пластин

Thu, 23 Jul 2026 12:16:46 +0800

Контроль температури у „розумній“ фабриці
Створення „розумної“ фабрики – це не просто розміщення кількох датчиків на обладнанні та сподівання на краще. Йдеться про зміну підходу до контролю температури.

Для обробки пластин ми використовуємо безконтактні інфрачервоні системи. Перевагою таких систем є те, що вони не торкаються самої пластини. Відсутність контакту означає відсутність загрози забруднення. Крім того, не потрібно хвилюватися про те, що датчик може вплинути на температуру пластини. Він просто спостерігає за нею здалеку.

Відбивач для лампи для висушування пластин

Tue, 21 Jul 2026 09:33:14 +0800

Як запобігти утворенню частинок пилу: як ми здійснюємо процес висихання кристалів
Коли ви працюєте у чистильній кімнаті класу 100, не існує такого поняття, як „трохи“ пилу. Одна-єдина частинка пилу чи невелика кількість газу, що виділяється від дешевого нагрівального елемента, можуть зробити всю партію кремнію непридатною для використання. Це справжній кошмар.

Саме тому ми не використовуємо стандартні матеріали. Для наших ламп та відбивачів ми використовуємо синтетичний кварц високої чистоти.

Секрет полягає у силіції.
Більшість ламп використовують звичайний кварц, але ми усуваємо з нього всі домішки, щоб запобігти проникненню металевих іонів. Якщо ви коли-небудь бачили, як лампа „димить“ під час роботи при високих температурах, ви точно розумієте, чого ми намагаємося уникнути. Ми щільно закриваємо кварцові трубки, щоб галогенні гази не потрапляли у приміщення. Таким чином все залишається чистим.

Енергоефективний нагрівач пластини

Mon, 20 Jul 2026 12:04:52 +0800

Припиніть марнувати енергію

Будьмо чесні: нагрів пластин вимагає значних зусиль. Якщо ви використовуєте звичайні кварцові лампи, фактично ви платите за енергію, яка так і не потрапляє на ваш продукт. Ці лампи випромінюють тепло у всіх напрямках. Половина цієї енергії просто втрачається. Це марнування.

Ми знайшли кращий спосіб. Ми використовуємо рефлектори, покриті золотом, щоб перенаправити цю енергію назад на пластину.

Чому саме золото?

Можливо, ви запитаєте, чому ми не використовуємо полірований алюміній. Алюміній підходить для об’єктів, які можна бачити, але тут мова йде про інфрачервоне випромінювання. Золото ефективніше відбиває інфрачервоні хвилі. Коли використовується поверхня, покрита золотом, майже кожен ват енергії лампи потрапляє на ціль. Це дає значне підвищення температури без необхідності змінювати напругу чи потужність лампи. Це просто розумна фізика.

Нагрівач для сушіння пластини датчика MEMS

Mon, 20 Jul 2026 11:50:00 +0800

Як запобігти катастрофічним наслідкам вибуху ламп під час сушіння чипів типу MEMS
Якщо ви коли-небудь працювали у умовах високого навантаження, ви знаєте, який це стрес. Але ніщо не може зрівнятися з жахом, який виникає, коли лампа ІЧ-опромінювання вибухає під час сушіння чипів типу MEMS.

Це стосується не лише зупинки процесу виробництва. Є ще й наслідки: уламки кварцу та вольфрамові нитки потрапляють на поверхню чипів. Це справжня катастрофа. Ми витратили багато часу на пошук способів, як запобігти таким ситуаціям.

Безпечна відстань для нагрівання пластинки

Tue, 14 Jul 2026 10:32:48 +0800

Чому ми переходимо на використання інфрачервоного випромінювання для висушування безсвинцевих напівпровідників
Індустрія активно прагне до використання „зелених“ та безсвинцевих стандартів. Це звучить чудово на папері, але насправді це ускладнює процес виробництва.

Протягом довгого часу ми використовували конвекційні печі. Проблема полягала у тому, що фактично ми нагрівали величезну кількість повітря. Це була марна трата енергії; крім того, це було ризиковано – рухливе повітря могло піднімати частинки, які потім потрапляли прямо на поверхню пластин.

Саме тому ми використовуємо інфрачервоне випромінювання. Замість нагрівання повітря ми використовуємо електромагнітне випромінювання, яке безпосередньо впливає на поверхню пластини. Немає жодних посередників, немає гарячого повітря – лише чиста енергія там, де вона потрібна.

Точний ІЧ датчик для пластин

Mon, 13 Jul 2026 17:54:23 +0800

Припиніть нагрівання повітря: розумніший спосіб обробки пластин
Якщо ми справді хочемо досягти цілей щодо відсутності викидів вуглецю на заводі, нам потрібно припинити користуватися старомодними елементами нагріву. Вони споживають багато енергії. Натомість ми переходимо на точний інфрачервоний нагрів.

Ідея проста: чому нагрівати всю вакуумну камеру чи повітря навколо пластини, якщо достатньо лише нагріти саму пластину? Ми використовуємо інфрачервоні датчики та лампи для того, щоб направити тепло саме туди, де це необхідно. Таким чином не витрачається енергія на порожні простори.