Wafers on Infrared Quartz Heat Solutions

Wafer kurutma için halojenli IR vericisi

Fri, 03 Jul 2026 15:32:00 +0800

Üretim alanında, tek bir su izi bile tüm ürün partisini mahvedebilir. Geleneksel kurutma yöntemleri oldukça hassas bir denge gerektirir; bir yanda termal stres, diğer yanda ise parçacık kirliliği sorunu vardır. Litografi işlemlerinde ise hata payına yer yoktur; foto direnç işlemleri sırasında meydana gelen 0,5°C’lik bir değişiklik bile ürünün boyutlarını bozacaktır. Bu tür değişkenlikleri ortadan kaldırmak için waferleri kurutmak amacıyla halojen IR vericileri geliştirdik.

Teknik olarak önemli olanlar
Kvartz koruma kabının içinde, saniyeler içinde doğrudan IR ışını yayan kısa dalga boylu halojen lambalar bulunur. Hedef bölgedeki sıcaklık değerlerini ±0,1°C aralığında sabit tutarız ve kapalı döngü kontrolü sayesinde her işlemde aynı sonuçlar elde edilir. Sistem, 1–100 sınıfı temiz odalarda hiçbir parçacık olmadan çalışır ve termal profil de stabil kalır; böylece waferin termal dengesi korunurken nem de etkili bir şekilde uzaklaştırılır.

Gelişmiş yonga fabrikaları için bölgesel ısıtma

Thu, 02 Jul 2026 09:40:56 +0800

Üretim alanında, foto direncin yumuşak pişirilmesi sırasında meydana gelen 1°C’lik bir değişiklik bile, ürünlerin boyutlarını bozarak çok sayıda waferin atılmasına neden olabilir. Geleneksel fırınlar, odanın tamamını ısıtır; ancak waferin kendisini değil. Biz ise ısıyı doğru yere, yani waferin üzerine yönlendiren bir ısıtma sistemi geliştirdik. Böylece her bir filmin termal özellikleri korunmuş olur.

Teknik açıdan önemli olan noktalar
Geliştirdiğimiz bölgesel kızılötesi modüller, aktif bölgede waferin sıcaklığını ±0,1°C aralığında sabit tutar. Ayrıca, binlerce döngü sonrasında da sıcaklık değerleri ±0,5°C aralığında kalır. Kısa dalga boylu emisörler sayesinde yumuşak ve sert pişirme işlemleri hızlandırılır. Karbon fiber içermeyen tasarım sayesinde de Partikül sayısı düşük tutulur; bu da Class 1–100 ortamlarında kullanım için idealdir. Sistem, 24/7 çalışır ve tahmini termal değişiklikleri telafi ederek çıkış kalitesini 5.000 saatten fazla süre boyunca stabil tutar.

Yarı iletken wafer sıcaklık sensörü ısıtıcısı

Fri, 26 Jun 2026 05:39:51 +0800

Üretim alanında, prob kartı mikroskopun altında bekliyor ve bir sonraki üretim işleminin başlamasını bekliyor. Eğer wafer’in sıcaklığı bile bir derecenin küçük bir kısmı kadar değişirse, parametrelerdeki değerler aniden değişir ve verimlilik düşmeye başlar. Biz de bu wafer prob ısıtıcısını, probun temas ettiği noktada bu tür değişiklikleri engellemek için geliştirdik.

Test sırasında asıl önemli olan şeyler
Bu cihaz, hızlı tepki verme ve düşük termal atalet özelliklerine sahip olan kısa dalga kızılötesi elemanlar kullanır. Wafer üzerindeki sıcaklık farkları ±0,1°C civarında tutulur ve kontrol döngüsü ısıtıcı gövdesinde değil, iş parçasının bulunduğu yerde olduğu için üretim süreçlerinde tekrarlanabilirlik sağlanır. Bu tasarım, standart prob istasyonlarına uyumlu şekilde çalışır ve sıcak bölge izole edildiğinden, platform hareketleri parçacıkların hareket etmesine neden olmaz. Kapalı malzemeler ve test ortamına girmeyen hava akışı sayesinde bu cihaz Cleanroom Class 1–100 ortamlarında sorunsuzca çalışabilir.