http://infra-quartz-heat.com/tr/tags/peb/ Recent content in (PEB) on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo tr Thu, 25 Jun 2026 05:15:02 +0800 http://infra-quartz-heat.com/tr/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Thu, 25 Jun 2026 05:15:02 +0800 http://infra-quartz-heat.com/tr/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Maruziyet sonrası pişirici (PEB) ısıtıcısı"></p> <p>Litografi işlemlerinde, PEB sıcaklık hatası, CD ölçülerinde sapmalara ve ürün kalitesinde bozulmalara yol açar. Wafer üzerindeki 1°C’lik bir düzensizlik bile, fotoresist profillerinin standartların dışına çıkmasına ve saatlerce süren işlerin boşa gitmesine neden olabilir. Bu yüzden, her parti için bu termal profilin belirlenen aralıkta kalmasını sağlamak amacıyla PEB ısıtıcılarımızı geliştirdik.</p> <p><strong>Önemli olan detaylar</strong><br> Hızlı ve doğrudan ısıtma sağlamak için kuvars pencerenin arkasında kısa dalga boylu kızılötesi (SWIR) halojen elemanları kullanıyoruz. Böylece sıcaklık düzenliliği ±0,1°C seviyesinde kalıyor ve tekrarlanabilirlik değerleri milisaniyeler mertebesinde oluyor. Böylece hem 1. parti hem de 1000. parti için aynı termal profil elde edilebiliyor. Bu modül, sınıf 1–100 gereksinimlerine uygun olarak tasarlanmıştır; düşük gaz salınımı olan malzemeler ve parçacık kontrolüne sahip bir yapıya sahiptir. Isıtma sırasında hiçbir parçacık oluşmaz; bu durum, cihazın arayüzünde yapılan parçacık izleme ile doğrulanır.</p>