Kurutma on Infrared Quartz Heat Solutions

MEMS sensör yongası kurutma ısıtıcısı

Mon, 20 Jul 2026 11:50:00 +0800

MEMS kurutma işlemlerindeki lamba patlamalarının önüne geçmek
Eğer yüksek yoğunluklu üretim ortamlarında çalıştıysanız, bu tür stresleri biliyorsunuzdur. Ancak MEMS waferlerinin kurutulması sırasında bir infrared lambasının patlaması kadar kötü bir durum yoktur. Bu durum sadece üretimin durmasına neden olmaz; aynı zamanda kuvars parçaları ve tungsten filamentlerin waferlerin üzerine düşmesiyle tam bir felaket oluşur. Bunu asla yaşanmamasını sağlamak için çok çaba sarf ettik.

Kalıcı çözümler
Çoğu lamba, kapalı bölgelerdeki “sıcak noktalar” veya stres yüzünden patlar. Genellikle bu, camın ısıya uyum sağlayamamasından kaynaklanır. Bunu çözmek için daha kalın duvarlı, yüksek saflıkta kuvars malzemeler kullanıyoruz. Ayrıca filamentlerin merkezlenmesine de büyük önem veriyoruz. Böylece ısı dağılımı eşit olduğunda, cam basınç altında hasar görmez ve düzgün şekilde çalışır.

Fabrika kurutma işlemi için enerji denetimi

Sat, 18 Jul 2026 04:13:14 +0800

Neden her bir lambayı test ediyoruz? (Ve bunun zemininiz için neden önemli olduğu)
Bir kurutma hattında, ısıtma elemanları sürekli olarak ısınıp soğuyor ve sallanıyor. Çoğu insan, bir sorun ortaya çıkana kadar bunu düşünmez. Ancak yalıtımında küçük bir çatlak olması sadece “teknik bir arıza” değildir. Bu durum, üretimin durmasına, üretilen ürünlerin bozulmasına veya en kötü ihtimalle birinin yaralanmasına yol açabilir.

İşte bu yüzden “seçici testler” yapmıyoruz. Her bir lamba ve ısıtma tüpü, atölyemizden çıkmadan önce kapsamlı bir HiPot ve yalıtım direnci testinden geçiriliyor.

Wafer kurutma için halojenli IR vericisi

Fri, 03 Jul 2026 15:32:00 +0800

Üretim alanında, tek bir su izi bile tüm ürün partisini mahvedebilir. Geleneksel kurutma yöntemleri oldukça hassas bir denge gerektirir; bir yanda termal stres, diğer yanda ise parçacık kirliliği sorunu vardır. Litografi işlemlerinde ise hata payına yer yoktur; foto direnç işlemleri sırasında meydana gelen 0,5°C’lik bir değişiklik bile ürünün boyutlarını bozacaktır. Bu tür değişkenlikleri ortadan kaldırmak için waferleri kurutmak amacıyla halojen IR vericileri geliştirdik.

Teknik olarak önemli olanlar
Kvartz koruma kabının içinde, saniyeler içinde doğrudan IR ışını yayan kısa dalga boylu halojen lambalar bulunur. Hedef bölgedeki sıcaklık değerlerini ±0,1°C aralığında sabit tutarız ve kapalı döngü kontrolü sayesinde her işlemde aynı sonuçlar elde edilir. Sistem, 1–100 sınıfı temiz odalarda hiçbir parçacık olmadan çalışır ve termal profil de stabil kalır; böylece waferin termal dengesi korunurken nem de etkili bir şekilde uzaklaştırılır.