http://infra-quartz-heat.com/tr/tags/halojen/ Recent content in Halojen on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo tr Fri, 03 Jul 2026 15:32:00 +0800 http://infra-quartz-heat.com/tr/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ Fri, 03 Jul 2026 15:32:00 +0800 http://infra-quartz-heat.com/tr/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Wafer kurutma için halojenli IR vericisi"></p> <p>Üretim alanında, tek bir su izi bile tüm ürün partisini mahvedebilir. Geleneksel kurutma yöntemleri oldukça hassas bir denge gerektirir; bir yanda termal stres, diğer yanda ise parçacık kirliliği sorunu vardır. Litografi işlemlerinde ise hata payına yer yoktur; foto direnç işlemleri sırasında meydana gelen 0,5°C’lik bir değişiklik bile ürünün boyutlarını bozacaktır. Bu tür değişkenlikleri ortadan kaldırmak için waferleri kurutmak amacıyla halojen IR vericileri geliştirdik.</p> <p><strong>Teknik olarak önemli olanlar</strong><br> Kvartz koruma kabının içinde, saniyeler içinde doğrudan IR ışını yayan kısa dalga boylu halojen lambalar bulunur. Hedef bölgedeki sıcaklık değerlerini ±0,1°C aralığında sabit tutarız ve kapalı döngü kontrolü sayesinde her işlemde aynı sonuçlar elde edilir. Sistem, 1–100 sınıfı temiz odalarda hiçbir parçacık olmadan çalışır ve termal profil de stabil kalır; böylece waferin termal dengesi korunurken nem de etkili bir şekilde uzaklaştırılır.</p>