http://infra-quartz-heat.com/th/tags/%E0%B8%AD%E0%B8%9A/ Recent content in อบ on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo th Thu, 25 Jun 2026 05:15:02 +0800 http://infra-quartz-heat.com/th/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Thu, 25 Jun 2026 05:15:02 +0800 http://infra-quartz-heat.com/th/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="เครื่องทำความร้อนสำหรับการอบหลังการสัมผัสกับรังสี (Post Exposure Bake PEB)"></p> <p>ในขั้นตอนการพิมพ์ด้วยเทคโนโลยีลิโธกราฟีนั้น ความคลาดเคลื่อนของอุณหภูรณ์ในช่วง PEB จะส่งผลให้เกิดความคลาดเคลื่อนในขนาดของแผ่นวัสดุได้อย่างรวดเร็ว ความไม่สม่ำเสมอของอุณหภูรณ์เพียง 1°C เท่านั้นก็เพียงพอที่จะทำให้โปรไฟล์ของสารเคมีที่ใช้ในการพิมพ์เสียไป และทำให้ต้องเสียเวลาในการทำงานไปหลายชั่วโมง เราจึงออกแบบเครื่องทำความร้อนสำหรับขั้นตอน PEB ขึ้นมา เพื่อรักษาค่าอุณหภูรณ์ให้อยู่ในช่วงที่กำหนดไว้ ในทุกๆ ชุดของวัสดุที่ผลิตขึ้นมา</p> <p><strong>สิ่งที่สำคัญจริงๆ</strong> เราใช้เทคโนโลยีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น (SWIR) ร่วมกับอุปกรณ์ฮาโลเจน ซึ่งถูกติดตั้งอยู่หลังหน้าต่างควอตซ์ เพื่อให้เกิดการทำความร้อนอย่างรวดเร็ว โดยมีความสม่ำเสมอของอุณหภูรณ์อยู่ที่ ±0.1°C และมีความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูรณ์อยู่ในระดับมิลลิวินาที ดังนั้น ค่าอุณหภูรณ์ที่เหมาะสมจะยังคงอยู่เหมือนเดิม ไม่ว่าจะเป็นชุดวัสดุชุดที่ 1 หรือชุดที่ 1000 ก็ตาม อุปกรณ์นี้ยังเหมาะสำหรับการใช้งานในห้องควบคุมความสะอาดระดับ Class 1–100 โดยมีวัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อย และมีระบบควบคุมอนุภาคที่ดี การไม่มีการสร้างอนุภาคใดๆ ขณะทำความร้อนนั้นเป็นเรื่องที่สามารถตรวจสอบได้โดยตรงผ่านการตรวจสอบอนุภาคที่บริเวณอินเตอร์เฟซของเครื่องจักร</p> <p><strong>เหตุใดสิ่งนี้จึงสำคัญในกระบวนการพิมพ์ด้วยสารเคมี</strong> ขั้นตอน PEB อยู่ระหว่างขั้นตอนการฉายแสงกับขั้นตอนการพัฒนาวัสดุ ซึ่งเป็นขั้นตอนที่สารเคมีถูกนำมาใช้เพื่อเพิ่มความเข้มข้นของสารเคมี และกำหนดความกว้างของเส้นที่จะพิมพ์ อุปกรณ์ทำความร้อนของเราช่วยให้ขั้นตอนนี้มีความเสถียรมากขึ้น ช่วยลดความคลาดเคลื่อนในขนาดของแผ่นวัสดุ และลดความจำเป็นในการทำงานซ้ำอีกด้วย อุปกรณ์นี้ยังสามารถใช้ได้กับทั้งวิธีการทำความร้อนแบบอ่อนและแบบแข็ง โดยมีรูปแบบการควบคุมอุณหภูรณ์ที่ช่วยลดเวลาในการทำงาน โดยไม่ส่งผลต่อความแม่นยำของโปรไฟล์อุณหภูรณ์ นอกจากนี้ เนื่องจาก SWIR ทำให้เกิดการทำความร้อนโดยตรงกับแผ่นวัสดุ จึงช่วยลดการใช้พลังงานได้</p> <p><strong>ข้อควรระวังบางประการ</strong> การติดตั้งอุปกรณ์นี้จำเป็นต้องมีการปรับให้เหมาะสมกับขนาดของห้องควบคุมและอินเตอร์เฟซของเครื่องจักรก่อน ก่อนที่จะนำอุปกรณ์มาใช้งาน ควรตรวจสอบรูปร่างของอุปกรณ์ ท่อน้ำเย็น และค่าไฟฟ้าที่ใช้ด้วย SWIR ช่วยให้เกิดการทำความร้อนอย่างรวดเร็ว แต่ก็จำเป็นต้องมีการควบคุมการจัดตำแหน่งของอุปกรณ์และความสะอาดของหน้าต่างควอตซ์ เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูรณ์ ควรมีการตรวจสอบหน้าต่างควอตซ์และเปลี่ยนหลอดไฟเป็นประจำ เพื่อให้ค่าอุณหภูรณ์ยังคงอยู่ในระดับที่เหมาะสมตลอดช่วงเวลาการผลิต</p>