Нагреватель для послеэкспозиционной обработки (PEB)

Thu, 25 Jun 2026 05:15:02 +0800

На этапе литографии ошибка температуры PEB приводит к отклонениям в размерах элементов печатной платы и к смещению их расположения. Недостаточно даже 1°C неоднородности по поверхности пластины, чтобы профили фотополимера вышли за пределы допустимых значений, что влечет за собой потерю времени на обработку. Мы разработали специальные нагреватели для поддержания оптимальной температуры в процессе производства, чтобы такой профиль сохранялся при обработке каждой партии продукции.

Что имеет значение на практике Мы используем галогеновые элементы с коротковолновым инфракрасным излучением, расположенные за кварцевым стеклом. Это позволяет достичь быстрого нагрева и мгновенной реакции. Равномерность температуры по всей поверхности пластины составляет ±0,1°C, а точность повторяемости процедур — в рамках нескольких миллисекунд. Таким образом, одинаковые условия обработки сохраняются как при обработке первой, так и последней партии продукции. Устройство соответствует требованиям чистых помещений класса 1–100: материалы, используемые в устройстве, имеют низкий уровень выделения газов, а путь движения частиц контролируется. Отсутствие образования частиц во время нагрева — не просто заявленное качество, но и результат постоянного контроля на уровне самого оборудования.

Разоблачение on Infrared Quartz Heat Solutions

Нагреватель для послеэкспозиционной обработки (PEB)