http://infra-quartz-heat.com/ru/tags/%D0%BF%D1%80%D0%BE%D1%86%D0%B5%D1%81%D1%81/ Recent content in Процесс on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo ru Wed, 03 Jun 2026 10:18:34 +0800 http://infra-quartz-heat.com/ru/posts/ashing-process-heating-infrared/ Wed, 03 Jun 2026 10:18:34 +0800 http://infra-quartz-heat.com/ru/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Инфракрасный нагрев процесса осаждения"></p> <p>На производственном участке травление — это не вариант, а обязательный термический этап, который полностью удаляет фоторезист, не повреждая при этом подлежащие пленки. Если температура отклоняется или профиль прогрева падает, остаются остатки. Выход годных линий снижается, и литографический стек страдает.</p> <p><strong>Что важно внутри</strong></p> <p>Мы построили нагреватель для травления на основе коротковолнового инфракрасного излучения, используя кварцево-галогенную матрицу излучателей с быстрым и повторяемым откликом. В итоге достигается равномерность по пластине в пределах ±0,1°C по зоне прогрева и точный температурный контроль, сохраняющий заданное значение в течение всего цикла удаления. Система работает в чистых помещениях класса 1–100 с нулевой генерацией частиц, что подтверждается контролем in-situ. Она обеспечивает стабильную мощность свыше 5 000 часов с дрейфом интенсивности менее 5%.</p>