http://infra-quartz-heat.com/ru/tags/%D0%B3%D0%B0%D0%BB%D0%BE%D0%B3%D0%B5%D0%BD%D1%8B/ Recent content in Галогены on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo ru Fri, 03 Jul 2026 15:32:00 +0800 http://infra-quartz-heat.com/ru/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ Fri, 03 Jul 2026 15:32:00 +0800 http://infra-quartz-heat.com/ru/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Галогеновый ИК излучатель для сушки пластин"></p> <p>На производственной линии один лишний пятнышко может испортить целую партию продукции. Традиционные методы сушки представляют собой сложную задачу: с одной стороны — тепловое напряжение, а с другой — загрязнение частицами. В литографии нельзя допускать никаких отклонений: даже 0,5°C отклонения температуры в процессе обработки фоторезиста может нарушить критические размеры изделия. Мы разработали галогеновый ИК-излучатель для сушки пластин, чтобы исключить такие отклонения.</p> <p><strong>Что имеет значение с технической точки зрения</strong><br> Внутри кварцевого корпуса находится галогеновая лампа коротких волн, которая выделяет ИК-излучение с временем реакции менее секунды. Благодаря этому температура в целевой зоне сохраняется в пределах ±0,1°C. Замкнутый контур управления обеспечивает стабильность процесса при каждой плавке. Система работает без какого-либо загрязнения в чистых комнатах класса 1–100; тепловой профиль остается стабильным, что позволяет сохранять тепловой баланс пластины при одновременном удалении влаги без возникновения эффекта «кожицы».</p>