Вафля on Infrared Quartz Heat Solutions

Галогеновый ИК излучатель для сушки пластин

Fri, 03 Jul 2026 15:32:00 +0800

На производственной линии один лишний пятнышко может испортить целую партию продукции. Традиционные методы сушки представляют собой сложную задачу: с одной стороны — тепловое напряжение, а с другой — загрязнение частицами. В литографии нельзя допускать никаких отклонений: даже 0,5°C отклонения температуры в процессе обработки фоторезиста может нарушить критические размеры изделия. Мы разработали галогеновый ИК-излучатель для сушки пластин, чтобы исключить такие отклонения.

Что имеет значение с технической точки зрения
Внутри кварцевого корпуса находится галогеновая лампа коротких волн, которая выделяет ИК-излучение с временем реакции менее секунды. Благодаря этому температура в целевой зоне сохраняется в пределах ±0,1°C. Замкнутый контур управления обеспечивает стабильность процесса при каждой плавке. Система работает без какого-либо загрязнения в чистых комнатах класса 1–100; тепловой профиль остается стабильным, что позволяет сохранять тепловой баланс пластины при одновременном удалении влаги без возникновения эффекта «кожицы».

Зонированное отопление для современных заводов по производству пластин

Thu, 02 Jul 2026 09:40:56 +0800

На производственной линии достаточно изменения температуры на 1°C во время процедуры нагрева фотополимера, чтобы это повлияло на критические размеры деталей, изготавливаемых с помощью этого материала, что приводит к полной потере большого количества пластин. В обычных печах нагревается сама камера, а не сама пластина. Мы разработали систему зонового нагрева, которая позволяет направлять тепло именно на пластину, при этом соблюдается температурный режим, необходимый для обработки каждого слоя материала.

Что имеет значение с технической точки зрения
Наша система зонового инфракрасного нагрева обеспечивает единообразие температуры на поверхности пластины в пределах ±0,1°C в активной зоне. Повторяемость значения температуры остается в пределах ±0,5°C даже после тысяч циклов работы. Устройства коротковолнового излучения позволяют быстро достигать желаемой температуры для процедур нагрева. Без использования углеродных волокон снижается количество частиц в окружающей среде — до уровня класса 1–100. Система работает круглосуточно, с возможностью коррекции температурных отклонений, что обеспечивает стабильную работу даже после 5 000 часов эксплуатации.

Нагреватель для зонда полупроводниковой пластины

Fri, 26 Jun 2026 05:39:50 +0800

На производственной площадке пробная карта находится под контролем устройства наблюдения, в ожидании начала следующей серии тестов. Если температура пластины изменяется даже на часть градуса, параметры работы устройства меняются, что приводит к снижению качества продукции. Мы разработали специальный нагреватель для пластин, чтобы предотвратить такие изменения прямо в месте контакта пробы с пластиной.

Что действительно имеет значение при тестировании Устройство использует инфракрасные элементы коротких волн, которые создают тепловое поле в кварцевом канале. Это обеспечивает быстрый отклик и низкую тепловую инерцию. Равномерность температуры по всей поверхности пластины составляет ±0,1°C. Повторяемость результатов тестов высока, поскольку система контроля расположена прямо на самой пластине, а не на корпусе нагревателя. Устройство может быть использовано в стандартных станциях тестирования; горячая зона изолирована, что предотвращает перемещение частиц воздуха. Благодаря герметичным материалам и правильному распределению потока воздуха, устройство может использоваться в чистых помещениях класса 1–100.

Стоимость лампы нагревателя на инфракрасных диодах

Tue, 23 Jun 2026 01:06:02 +0800

На производственной линии у каждой пластины есть свой тепловой лимит, который нельзя превышать. Даже незначительные отклонения в температуре могут привести к изменению толщины линий на поверхности пластины, а также к снижению качества продукции. Стоимость инфракрасных нагревателей не ограничивается лишь суммой, указанной в заказе. Это также стоимость обеспечения стабильности процесса.

Что имеет техническое значение Наши инфракрасные нагреватели обеспечивают тепловую однородность на уровне менее чем миллиметра по всей поверхности пластины. В процессе выпечки температура контролируется с точностью до ±0,1°C. Такая точность достигается за счет соответствия спектра инфракрасного излучения спектру поглощения фотополимера. Благодаря этому нагрев происходит быстро и без контакта с пластиной, при этом сохраняется возможность точного контроля скорости нагрева. Устройства предназначены для использования в чистых помещениях классов от 1 до 100, и во время работы они не выделяют никаких частиц. Надежность устройств подтверждена: они могут работать более 5000 часов с падением эффективности менее чем на 5%, что значит меньше неплановых поломок и необходимости замены ламп.