Прекратите нагревание стен корпуса оборудования
Большинство нагревательных элементов работают так же, как лампочки — они излучают тепло во все стороны. В тесной камере для обработки полупроводников это приводит к серьезным проблемам. Вы тратите множество энергии на нагрев стенок корпуса оборудования.
Мы видим это постоянно: пластина действительно достигает нужной температуры, но внешняя поверхность корпуса нагревается настолько сильно, что может обжечь оператора. Это неэффективно и опасно.
Как работает направленное нагревание
Чтобы решить эту проблему, мы используем лампы с коротковолновым инфракрасным излучением. С помощью специальных покрытий или параболических отражателей мы заставляем тепло идти именно туда, куда необходимо.
Энергия направляется непосредственно на подложку, а не на воздух или корпус оборудования. Таким образом устраняется излишнее тепло, которое обычно распространяется по корпусу оборудования. Это гораздо более эффективный способ работы.
Позвольте системе охлаждения отдохнуть
Самое лучшее — это когда вы перестаете бороться с самим оборудованием. Когда стенки корпуса не поглощают тепло, охладители не должны работать в удвоенном режиме, чтобы предотвратить повреждение электроники. Это значительно снижает тепловую нагрузку на всё оборудование. Все работает в более комфортных условиях.
Небольшой совет относительно датчиков: будьте осторожны с местом размещения термопар. Поскольку инфракрасное излучение очень концентрировано, датчик, размещенный не в правильном месте, может давать ложные данные. Размещайте его как можно ближе к подложке. В противном случае вы будете измерять температуру воздуха, а это вам не поможет.
Компромиссы
Эти лампы имеют высокую мощность. Это хорошо для быстрого нагрева. Но такая интенсивность нагрева создает дополнительную нагрузку на кварцевую оболочку лампы.
Не стоит просто использовать эти лампы в старой системе, надеясь на лучшее. Сначала проверьте источник питания. Если вы загоните слишком много ватт в одну точку, на плате могут возникнуть очаги перегрева. Нужно найти оптимальные параметры питания, чтобы все работало равномерно.