Aquecedor de sonda para wafer de semicondutores

Fri, 26 Jun 2026 05:39:50 +0800

No chão de produção, o cartão de sondagem fica sob o microscópio, aguardando para ser utilizado no próximo lote de produção. Se a temperatura do wafer variar, mesmo que seja por uma fração de grau, as condições ideais para o processo são comprometidas, e a qualidade do produto começa a piorar. Criamos este aquecedor especial para impedir essas variações, exatamente no ponto em que a sonda entra em contato com o wafer.

O que realmente importa durante o teste
A unidade utiliza elementos infravermelhos de onda curta para aquecer o wafer, com um circuito térmico de quartzo, projetado para oferecer resposta rápida e baixa inércia térmica. A uniformidade da temperatura do wafer fica dentro de ±0,1°C, e a repetibilidade entre diferentes testes é alta, pois o controle térmico acontece diretamente no próprio wafer, e não no corpo do aquecedor. O design permite que o equipamento seja integrado às estações de teste padrão, e a área de aquecimento é isolada, evitando que partículas sejam agitadas durante o processo. Graças aos materiais selados e ao fluxo de ar controlado, o equipamento pode ser utilizado em salas limpas de classe 1–100.

Sonda on Infrared Quartz Heat Solutions

Aquecedor de sonda para wafer de semicondutores