Impeda que suas ferramentas de semicondutores se transformem em “fornos”
O problema com as lâmpadas infravermelhas padrão é que elas emitem calor em todas as direções. Quando se coloca uma dessas lâmpadas de quartzo dentro de uma câmara metálica, uma enorme quantidade de energia é direcionada para as paredes da câmara. Isso faz com que o gabinete da ferramenta funcione como um enorme dissipador de calor. Não só o revestimento externo fica muito quente, podendo até queimar os operadores, mas também os sistemas de resfriamento precisam trabalhar mais para evitar que tudo derreta. É um verdadeiro caos.
A solução está no revestimento de ouro.
Para resolver esse problema, colocamos uma fina camada de ouro na parte posterior do invólucro de quartzo. O ouro é excelente para refletir radiação infravermelha. Em vez de permitir que o calor seja direcionado para o interior da máquina, o revestimento reflete o calor para a frente. Isso muda tudo: a lâmpada deixa de funcionar como um aquecedor geral e passa a funcionar como uma ferramenta de precisão. Assim, o feixe de luz atinge exatamente o local desejado no wafer ou no substrato. Não há mais o “efeito forno”, em que todo o gabinete da ferramenta fica quente demais.
Mas há um detalhe importante: como toda essa energia é direcionada para uma única direção, a parte frontal da lâmpada fica ainda mais quente. Ela não consegue mais “respirar” em duas direções. É preciso verificar se os suportes da lâmpada conseguem suportar essas altas temperaturas – caso contrário, os suportes podem derreter.
Além disso, manter o gabinete frio vai além de proteger a pele dos operadores: também protege os componentes eletrônicos. Quando o interior do gabinete permanece frio, os PCBs e sensores não sobrecarregam nem queimam tão rapidamente. Tudo dura mais tempo.