http://infra-quartz-heat.com/pl/tags/peb/ Recent content in (PEB) on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo pl Thu, 25 Jun 2026 05:15:02 +0800 http://infra-quartz-heat.com/pl/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Thu, 25 Jun 2026 05:15:02 +0800 http://infra-quartz-heat.com/pl/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Grzałka do suszenia po ekspozycji (PEB)"></p> <p>Na <a href="https://o-yate.net">stanowisku</a> litograficznym błąd temperatury PEB jest przyczyną szybkich odchyleń w parametrach CD oraz dewiacji w rozkładzie temperatury na powierzchni płytki. Nierównomierność temperatury o 1°C wystarczy, by profile fotorezystu wykraczały poza dopuszczalne normy, co skutkuje marnowaniem godzin pracy. Stworzyliśmy specjalne grzałki do procesu PEB, aby utrzymać temperaturę w wymaganym przedziale, zarówno przy jednej partii produktów, jak i przy setkach partii.</p> <p><strong>Co jest istotne w tym procesie</strong> Używamy halogenowych elementów emitujących krótkofalowe promieniowanie podczerwone za szybą kwarcową – to zapewnia szybkie i precyzyjne nagrzewanie. Równomierność temperatury na powierzchni płytki wynosi ±0,1°C, a powtarzalność procesu mieści się w granicach kilku milisekund. Dzięki temu ten sam profil termiczny jest zachowany zarówno w pierwszej, jak i w ostatniej partii produktów. Moduł nadaje się do używania w środowiskach <a href="https://goldisgood.com">klasy</a> 1–100, dzięki materiałom o niskiej emisji gazów oraz <a href="https://o-yate.com">systemowi</a> kontroli cząstek. Brak generowania cząstek podczas procesu nagrzewania nie jest tylko deklarowanym efektem – jest to potwierdzone poprzez monitorowanie cząstek bezpośrednio na interfejsie urządzenia.</p>