Gezoneerde verwarming voor geavanceerde waferfabrieken

Thu, 02 Jul 2026 09:40:56 +0800

Op de productielijn is een verschil van 1°C tijdens het ‘soft bake’-proces voldoende om de kritieke afmetingen van de chips te verstoren en daardoor veel chips te verspillen. Conventionele ovens verwarmen de kamer, niet de chip zelf. Wij hebben een gecentreerd verwarmingssysteem ontwikkeld, zodat de warmte precies op de chip terechtkomt – zonder dat dit invloed heeft op de thermische eigenschappen van de film.

Wat technisch gezien belangrijk is: Onze gecentreerde infrarode modules zorgen voor een constante temperatuur op het niveau van de chip, binnen een marge van ±0,1°C in de actieve zone. De herhaalbaarheid van de temperatuur blijft bovendien binnen ±0,5°C, zelfs na duizenden cycli. Kortegolfemitters zorgen ervoor dat de chip snel wordt verhit tot de gewenste temperatuur. Het ontwerp zonder koolstofvezels zorgt er bovendien voor dat er minder deeltjes worden gegenereerd, wat belangrijk is in omgevingen met een klasse van 1–100. Het systeem kan 24/7 draaien, dankzij predictieve compensatie voor thermische afwijkingen. Hierdoor blijft de output stabiel, zelfs na meer dan 5.000 uur gebruik.

Kosten van infraroodwaferverwarmlamp

Tue, 23 Jun 2026 01:06:02 +0800

Op de productielijn heeft elke wafer een bepaald thermisch budget; dit mag niet worden overschreden. Zelfs een klein verschil van een fractie van een graad kan leiden tot variaties in de dikte van de lijnen op de wafer, tot ongewenste effecten en tot een lagere opbrengst. De prijs van een infraroodverwarmer is niet alleen het bedrag dat u betaalt voor het apparaat zelf, maar ook het bedrag dat u betaalt voor de processtabiliteit.

Wat technisch gezien belangrijk is
Onze infraroodverwarmers zorgen ervoor dat de temperatuur over het hele oppervlak van de wafer gelijkmatig blijft, zelfs binnen sub-millimeterbereiken. In de productieprocessen houden we de temperatuursverschillen meestal binnen ±0,1°C. Deze precisie wordt bereikt door het NIR-spectrum af te stemmen op de absorptie van het fotoresistmateriaal. Hierdoor kan de wafer snel en contactloos worden verwarmd, met reproduceerbare snelheden. Het systeem is ontworpen voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1 tot klasse 100. Tijdens het gebruik worden er geen deeltjes geproduceerd. De betrouwbaarheid van het systeem is bewezen: de apparaten kunnen meer dan 5.000 uur draaien zonder dat de prestaties met meer dan 5% dalen. Dit betekent minder ongeplande stilstandtijden en minder vervangingen van de lampen.

Wafer on Infrared Quartz Heat Solutions

Gezoneerde verwarming voor geavanceerde waferfabrieken

Kosten van infraroodwaferverwarmlamp