Wafel on Infrared Quartz Heat Solutions

Temperatuursensor voor wafergereedschap

Thu, 23 Jul 2026 12:16:46 +0800

Het beheersen van de warmte in een slimme fabriek

Het opzetten van een slimme fabriek gaat niet alleen om het plaatsen van sensoren op de apparaten en hopen dat alles goed gaat. Het gaat er eerder om hoe je naar warmte kijkt.

Voor het verwerken van wafers maken we gebruik van contactloze infraroodsystemen. Het voordeel van infrarood is dat deze geen contact maken met de wafer. Geen contact betekent geen besmetting. Bovendien hoef je je geen zorgen te maken dat de sensor als koelingsbron werkt en de metingen verstoort. De sensor kan dus van een afstand toezicht houden.

Reflector voor wafer curinglamp

Tue, 21 Jul 2026 09:33:14 +0800

Hoe we voorkomen dat er stof vrijkomt: hoe we de vulking van siliciumwafers uitvoeren
Wanneer je in een schone ruimte van klasse 100 werkt, bestaat het risico op ‘even wat stof’ niet. Eén klein stofdeeltje of een beetje gas dat vrijkomt van een goedkope verwarmingscomponent kan ervoor zorgen dat je hele lading silicium onbruikbaar wordt. Het is een nachtmerrie.

Daarom gebruiken we geen gewone materialen. We maken gebruik van synthetisch kwarts van hoge zuiverheid voor onze IR-verlichting en reflectoren.

Energie efficiënte waferverwarmer

Mon, 20 Jul 2026 12:04:52 +0800

Stop met het verspillen van energie

Laten we eerlijk zijn: het opwarmen van wafers is meestal een behoorlijke puinhoop. Als je standaard kwartslampen gebruikt, betaal je eigenlijk voor energie die nooit eens de producten bereikt. Die lampen stralen warmte in alle richtingen uit. De helft van die energie verdwijnt gewoon in het frame van de machine. Dat is zonde.

We hebben een betere manier gevonden. We gebruiken goudcoateerde reflectoren om die verspilde energie op te vangen en deze rechtstreeks terug te sturen naar de wafer.

HEATER VOOR HET DROGEN VAN MEMS SENSORMODDIELLEN

Mon, 20 Jul 2026 11:50:00 +0800

Het stoppen van het nachtmerriegevoel dat optreedt wanneer er problemen zijn met de lampen tijdens het drogen van MEMS-chips
Als je ooit hebt gewerkt in een omgeving met hoge productieniveaus, weet je wat voor stress dat met zich meebrengt. Maar niets is erger dan wanneer er een infraroodlamp kapotgaat tijdens het drogen van MEMS-chips.

Het gaat niet alleen om het feit dat de productielijn stilvalt. Er zijn ook nog de gevolgen: scherven van kwarts en wolfraamfilamenten vallen op de chips terecht. Het is een complete ramp. We hebben veel tijd besteed aan het bedenken van manieren om te voorkomen dat dit ooit gebeurt.

Veilige afstand voor het opwarmen van de wafer

Tue, 14 Jul 2026 10:32:48 +0800

Waarom we overstappen op IR-gerelateerde technieken voor leedvrije halfgeleiders
De industrie streeft ernaar om ‘groene’ en leedvrije producten te maken. Dat klinkt goed op papier, maar het maakt de daadwerkelijke productie juist moeilijker.

Lang hebben we gebruikgemaakt van convectieovens. Het probleem? Je verhit eigenlijk gewoon een enorme hoeveelheid lucht. Dat is zonde van energie, en eerlijk gezegd is het ook risicovol. De bewegende lucht kan namelijk deeltjes veroorzaken die zich op de schijven bevinden.

Precisie IR sensor voor wafer

Mon, 13 Jul 2026 17:54:23 +0800

Stop met het verwarmen van de lucht: een slimmere manier om wafers te verwerken

Als we echt die doelstellingen op het gebied van koolstofneutraalheid willen bereiken, moeten we stoppen met het gebruik van die ouderwetse resistieve ovens. Ze verbruiken enorm veel energie. In plaats daarvan maken we gebruik van precisieverwarming met infraroodstralen.

Het principe is eenvoudig: waarom moet de hele vacuümkamer of de lucht rondom de wafer worden verwarmd, als je alleen maar de wafer zelf warm hoeft te maken? We gebruiken IR-sensoren en lampen om de warmte precies op de juiste plek te brengen. Zo wordt er geen energie meer verspild aan lege ruimtes.

Halogeen IR emitter voor drogen van wafers

Fri, 03 Jul 2026 15:32:00 +0800

Op de productielijn kan één enkele fout al ervoor zorgen dat een hele lading producten onbruikbaar wordt. Traditionele droogmethoden brengen risico’s met zich mee: enerzijds thermische belasting, en anderzijds vervuiling door deeltjes. In de lithografie mag er geen enkele fout optreden: een afwijking van 0,5°C tijdens het verwerken van de fotoresist kan leiden tot fouten in de afmetingen van het product. We hebben daarom de Halogen IR-emitter ontwikkeld om deze variabiliteit uit te sluiten.

Wat technisch gezien belangrijk is
Binnenin het kwartsomhulsel zit een kortgolflamp die direct infraroodlicht uitzendt, met een reactietijd van minder dan een seconde. Hierdoor blijft de temperatuur in het gewenste gebied binnen ±0,1°C. Dankzij de gesloten lusregeling blijven de droogprocedures steeds consistent. Het systeem werkt zonder enige vervuiling in schone ruimtes van klasse 1–100. De thermische standaarden worden behouden, terwijl vocht wordt verwijderd zonder dat dit negatieve gevolgen heeft voor de oppervlakte van de chip.

Heater voor semiconductorwaferprobe

Fri, 26 Jun 2026 05:39:51 +0800

Op de productiehal ligt de probekaart onder de microscoop, klaar om met het volgende batch te werken. Als de temperatuur van de wafer zelfs maar een fractie van een graad verschuift, sluit het parameterbereik zich meteen en neemt de kwaliteit van de producten af. We hebben deze heater ontworpen om deze temperatuurschommelingen direct bij hun oorsprong tegen te gaan – precies op de plek waar de sonde de wafer raakt.

Wat er echt toe doet tijdens het testen
De unit maakt gebruik van kortegolf-infraroodonderdelen die warmte overdragen via een kwartsleidingspad. Hierdoor kan er snel worden gereageerd en blijft de thermische inertie laag. Op het niveau van de wafer blijft de uniformiteit binnen ±0,1°C. De herhaalbaarheid tussen verschillende tests blijft hoog, omdat de controlecyclus zich bevindt op de werkstukken zelf, en niet op de heater. Het apparaat past gemakkelijk in standaard probestations. De hete zone is geïsoleerd, zodat bewegingen van het apparaat geen stofdeeltjes veroorzaken. Het apparaat kan worden gebruikt in cleanrooms van klasse 1–100, dankzij gesloten materialen en een goede luchtcirculatie die de testomgeving schoon houdt.