Heater voor semiconductorwaferprobe

Fri, 26 Jun 2026 05:39:51 +0800

Op de productiehal ligt de probekaart onder de microscoop, klaar om met het volgende batch te werken. Als de temperatuur van de wafer zelfs maar een fractie van een graad verschuift, sluit het parameterbereik zich meteen en neemt de kwaliteit van de producten af. We hebben deze heater ontworpen om deze temperatuurschommelingen direct bij hun oorsprong tegen te gaan – precies op de plek waar de sonde de wafer raakt.

Wat er echt toe doet tijdens het testen
De unit maakt gebruik van kortegolf-infraroodonderdelen die warmte overdragen via een kwartsleidingspad. Hierdoor kan er snel worden gereageerd en blijft de thermische inertie laag. Op het niveau van de wafer blijft de uniformiteit binnen ±0,1°C. De herhaalbaarheid tussen verschillende tests blijft hoog, omdat de controlecyclus zich bevindt op de werkstukken zelf, en niet op de heater. Het apparaat past gemakkelijk in standaard probestations. De hete zone is geïsoleerd, zodat bewegingen van het apparaat geen stofdeeltjes veroorzaken. Het apparaat kan worden gebruikt in cleanrooms van klasse 1–100, dankzij gesloten materialen en een goede luchtcirculatie die de testomgeving schoon houdt.

Sonde on Infrared Quartz Heat Solutions

Heater voor semiconductorwaferprobe