Gezoneerde verwarming voor geavanceerde waferfabrieken

Thu, 02 Jul 2026 09:40:56 +0800

Op de productielijn is een verschil van 1°C tijdens het ‘soft bake’-proces voldoende om de kritieke afmetingen van de chips te verstoren en daardoor veel chips te verspillen. Conventionele ovens verwarmen de kamer, niet de chip zelf. Wij hebben een gecentreerd verwarmingssysteem ontwikkeld, zodat de warmte precies op de chip terechtkomt – zonder dat dit invloed heeft op de thermische eigenschappen van de film.

Wat technisch gezien belangrijk is: Onze gecentreerde infrarode modules zorgen voor een constante temperatuur op het niveau van de chip, binnen een marge van ±0,1°C in de actieve zone. De herhaalbaarheid van de temperatuur blijft bovendien binnen ±0,5°C, zelfs na duizenden cycli. Kortegolfemitters zorgen ervoor dat de chip snel wordt verhit tot de gewenste temperatuur. Het ontwerp zonder koolstofvezels zorgt er bovendien voor dat er minder deeltjes worden gegenereerd, wat belangrijk is in omgevingen met een klasse van 1–100. Het systeem kan 24/7 draaien, dankzij predictieve compensatie voor thermische afwijkingen. Hierdoor blijft de output stabiel, zelfs na meer dan 5.000 uur gebruik.

Geavanceerd on Infrared Quartz Heat Solutions

Gezoneerde verwarming voor geavanceerde waferfabrieken