Houd je wafers schoon wanneer het heet is
Als je met hoge productiesnelheden werkt, ken je vast het nachtmerriescenario al. Een lamp gaat kapot. Plotseling vallen er stukjes kwarts en gesmolten tungstenvouden op je wafers. Het gaat niet alleen om wat stilstand – het is een echte contaminatiedisaster die hele batches kan vernietigen.
Daarom bouwen we onze IR-lampen met gouden reflectoren op deze manier. We willen dit soort rampen voorkomen.
Omgaan met de hitte
De meeste lampen gaan kapot door thermische schokken of lokale hittepunten. Om dit te voorkomen gebruiken we hoogzuiver gefuseerd kwarts. Dit materiaal kan de grote temperatuurschommelingen tussen kamertemperatuur en maximale hitte aan zonder te barsten.
En die gouden reflector? Die zorgt er niet alleen voor dat de lamp efficiënter werkt, maar ook dat de IR-straling richting boven wordt gestuurd. Hierdoor blijft de hitte uit de behuizing en verbindingen, waar je hem niet wilt hebben.
Een tip: houd je ogen op je stroomvoorziening. De spanning moet precies overeenkomen met de specificaties van de lamp. Het is verleidelijk om de spanning te verhogen om sneller de gewenste temperatuur te bereiken, maar doe dit niet. Anders wordt de gloeidraad beschadigd en kan de lamp kapotgaan.
Voorkomen van deeltjes
Wat betreft contaminatie: het komt allemaal neer op de afsluiting en de coating. We gebruiken vacuümdepositie voor de gouden laag, zodat deze niet loskomt wanneer het heet wordt. Als de coating loskomt, kunnen er deeltjes op de wafers terechtkomen. Dat ziet er niet goed uit.
Maar laten we eerlijk zijn: geen enkele lamp is onkapotbaar. Daarom raden we altijd aan om een beschermende kwartsmantel of een schild te gebruiken. Denk erbij aan als een soort verzekering. Als de lamp toch kapotgaat, houdt het schild de brokstukken tegen, zodat ze niet op het substraat terechtkomen.
Enkele punten om in gedachten te houden
Gouden reflectoren zijn de standaard voor IR-reflectiviteit, maar ze zijn zachter dan aluminium.
Vertel je team alsjeblieft: gebruik geen abrasieve chemicaliën. Als je de lampen schoonmaakt met zulke chemicaliën, raak je het goud beschadigd. Dit leidt tot een thermisch onevenwicht en de lamp zal eerder kapotgaan. Gebruik liever stoom of gespecialiseerde oplosmiddelen.
Zorg er ook voor dat het onderhoudspersoneel handschoenen draagt. Huidvet kan misschien onschuldig lijken, maar het kan het kwarts beschadigen en stresspunten veroorzaken. Het is een klein detail, maar het maakt veel uit voor de levensduur van je lampen.