Kos lampu pemanas wafer inframerah

Tue, 23 Jun 2026 01:06:02 +0800

Di bilik pengeluaran, setiap wafer mempunyai had suhu tertentu yang tidak boleh dilanggar. Sebarang perubahan suhu, walaupun sedikit sebanyak, akan menyebabkan perubahan ketebalan garis pada wafer, serta penurunan kualiti produk. Harga lampu pemanas inframerah bukan sekadar kos pembelian sahaja; ia juga merangkumi kos untuk memastikan kestabilan proses pengeluaran.

Apa yang penting dari segi teknikal
Lampu pemanas inframerah kami memastikan keseragaman suhu pada tahap sub-milimeter di seluruh permukaan wafer. Dalam proses pengeringan wafer, variasi suhu biasanya dikawal dalam lingkungan ±0.1°C. Ketepatan ini dicapai dengan menyesuaikan spektrum cahaya inframerah agar sesuai dengan sifat penyerapan bahan fotoresist. Dengan cara ini, pemanasan berlaku dengan cepat dan tanpa geseran, serta dengan kadar peningkatan suhu yang konsisten. Sistem ini direka khusus untuk digunakan di bilik bersih dengan tahap kebersihan dari Kelas 1 hingga Kelas 100. Sistem ini juga tidak menghasilkan sebarang zarah semasa beroperasi. Kestabilannya telah terbukti melalui penggunaan berterusan selama lebih dari 5,000 jam, dengan penurunan prestasi kurang dari 5%, yang bermakna kurangnya gangguan operasi dan keperluan untuk menukar lampu lebih kerap.

Kos on Infrared Quartz Heat Solutions

Kos lampu pemanas wafer inframerah