Hentikan Penggunaan Suhu Tinggi untuk Pemanasan: Mengapa Penggunaan Cahaya Inframerah dalam Keadaan Vakum Adalah Cara yang Terbaik
Jika anda bekerja dalam bidang pemprosesan semikonduktor, anda pasti telah menghabiskan banyak masa menunggu sehingga suhu di dalam bilik pemprosesan mencapai tahap yang diinginkan. Kebanyakan orang masih menggunakan kaedah pemanasan udara panas, kerana itu merupakan cara yang biasa digunakan. Namun, masalahnya ialah kaedah ini sangat lambat. Anda sebenarnya sedang memanaskan udara terlebih dahulu, kemudian menunggu udara tersebut memanaskan wafer tersebut.
Dalam keadaan vakum, tindakan ini hanyalah pembaziran masa sahaja. Itulah sebabnya kita menggunakan lampu inframerah dalam keadaan vakum. Daripada menggunakan udara sebagai medium pemindahan haba, lampu ini menggunakan radiasi elektromagnetik untuk memanaskan permukaan wafer secara langsung. Ini merupakan cara yang lebih efektif.
Kos sebenar daripada menunggu
Fikirkan tentang prinsip fiziknya sebentar. Dengan penggunaan udara panas, anda perlu menunggu sehingga bilik pemprosesan mencapai suhu yang diinginkan. Proses ini sangat lambat. Namun, dengan penggunaan cahaya inframerah, pemindahan tenaga berlaku dengan cepat.
Walaupun ini nampak seperti perkara kecil, tetapi apabila anda beroperasi pada skala yang besar, beberapa minit yang dijimatkan setiap kitaran akan memberi manfaat yang besar. Ini bermakna ribuan wafer dapat diproses setiap bulan. Itu merupakan keuntungan yang besar bagi syarikat anda.
Menjaga kebersihan dalam keadaan vakum
Menggunakan keadaan vakum untuk proses pemprosesan menambahkan lagi kesukaran. Anda tidak boleh sekadar menggunakan kipas untuk menyejukkan bahagian lampu tersebut. Untuk mengatasi masalah ini, kita menggunakan selubung kuarza khusus serta bahan-bahan yang tidak mengeluarkan gas. Ini memastikan wafer tetap bersih dan bebas daripada kotoran. Selain itu, haba yang dihasilkan juga sangat tinggi. Anda boleh memanaskan kawasan tertentu pada wafer tanpa perlu memanaskan seluruh bilik pemprosesan.
Kelemahan
Namun, ia bukanlah cara yang sempurna. Cahaya inframerah yang berintensiti tinggi boleh merosakkan komponen elektronik dalam sistem pemprosesan. Ia juga memerlukan kawalan PID yang sangat tepat. Jika sensor tidak berfungsi dengan baik, suhu wafer boleh melebihi had yang ditetapkan, lalu merosakkan wafer tersebut. Anda memerlukan sistem maklum balas yang responsif terhadap perubahan suhu.
Tetapi apabila semuanya diatur dengan betul, anda tidak akan membuang tenaga untuk memanaskan ruang kosong di dalam bilik pemprosesan. Sebaliknya, tenaga tersebut akan digunakan untuk memanaskan bahagian yang sebenarnya diperlukan.