http://infra-quartz-heat.com/ko/tags/mems/ Recent content in MEMS on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo ko Mon, 20 Jul 2026 11:50:00 +0800 http://infra-quartz-heat.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 20 Jul 2026 11:50:00 +0800 http://infra-quartz-heat.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터"></p> <p>MEMS 웨이퍼 건조 과정에서 발생하는 램프 폭발의 재앙을 막는 방법<br> 고부하 환경에서 작업해본 사람이라면 그 스트레스를 잘 알 것입니다. 하지만 MEMS 웨이퍼를 건조하는 동안 IR 램프가 폭발하는 것만큼 끔찍한 상황은 없습니다.<br> 문제는 단순히 생산라인이 멈추는 것뿐만 아니라, 그 후에 일어나는 여파도 심각합니다. 석영 조각과 텅스텐 필라멘트들이 웨이퍼 위로 떨어지게 되는 것입니다. 이건 완전한 재앙입니다. 우리는 이런 일이 절대 일어나지 않도록 하는 방법을 찾기 위해 많은 시간을 투자했습니다.</p>