http://infra-quartz-heat.com/ko/tags/%ED%95%A0%EB%A1%9C%EA%B2%90/ Recent content in 할로겐 on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo ko Fri, 03 Jul 2026 15:32:00 +0800 http://infra-quartz-heat.com/ko/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ Fri, 03 Jul 2026 15:32:00 +0800 http://infra-quartz-heat.com/ko/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="웨이퍼 건조용 할로겐 IR 에미터"></p> <p>생산 현장에서는 단 한 개의 워터마크만으로도 전체 제품군이 망가질 수 있습니다. 기존의 건조 방식은 열 스트레스와 입자 오염이라는 두 가지 문제를 동시에 해결해야 하는 까다로운 상황에 처해 있습니다. 리소그래피 공정에서는 오차가 허용되지 않습니다. 포토레지스트 처리 과정에서 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 제품의 치수가 잘못될 수 있습니다. 이러한 문제들을 해결하기 위해 우리는 웨이퍼 건조용 할로겐 IR 송신기를 개발했습니다.</p>