난방 on Infrared Quartz Heat Solutions

교체용 히팅 요소 IP65

Fri, 24 Jul 2026 11:58:09 +0800

스마트 홈을 진정으로 따뜻하게 만드는 방법
우리가 IP65 등급의 적외선 히팅 요소를 만든 이유는, 강력한 성능과 스마트 기술 사이의 충돌을 막기 위해서입니다.
“IP65”라는 용어는 다소 지루해 보일 수 있지만, 실제로는 장치가 완전히 밀폐되어 있다는 의미입니다. 먼지가 들어올 수 없으며, 물이 튀어도 문제가 생기지 않습니다. 그래서 이러한 히터들을 습한 욕실이나 반외부 공간에 설치해도 걱정할 필요가 없습니다.

에너지 절약형 반도체 히팅

Wed, 22 Jul 2026 05:07:51 +0800

반제품의 탄소 배출량을 줄이는 방법: 왜 단파 적외선이 최선인가?
솔직히 말해, 전통적인 저항식 난방 장치들은 에너지를 엄청나게 낭비합니다. 웨이퍼 주변의 공기를 데우는 데 너무 많은 시간이 소요되므로, 결국 에너지가 낭비됩니다.
그래서 우리는 단파 적외선 램프를 사용하게 되었습니다. 모든 것을 데우는 대신, 에너지를 직접 웨이퍼에 집중시키는 것입니다. 더 이상 기다릴 필요가 없습니다. 바로 효율적인 열 처리가 가능해집니다.

첨단 웨이퍼 제조 공장을 위한 구역별 난방 시스템

Thu, 02 Jul 2026 09:40:56 +0800

팹 내에서 포토레지스트를 소프트 베이크하는 과정에서 온도가 1°C만 변해도 치명적인 결과를 초래할 수 있으며, 그로 인해 많은 웨이퍼가 폐기됩니다. 일반적인 오븐들은 챔버 전체를 가열하지만, 웨이퍼 자체는 가열하지 않습니다. 우리는 열을 웨이퍼에 직접 전달할 수 있는 구역별 가열 시스템을 만들었습니다. 이를 통해 각 필름의 열적 특성을 유지할 수 있습니다.

재화 과정 가열 적외선

Wed, 03 Jun 2026 10:18:34 +0800

Fab 플로어에서의 애싱은 선택이 아닌 필수 공정입니다. 포토레지스트를 필름 아래에 영향을 주지 않고 완전히 제거하는 열처리 단계입니다. 온도가 변동하거나 프로파일이 떨어지면 잔류물이 발생합니다. 이는 라인 수율 저하로 이어지고, 리소그래피 적층 공정에 영향을 미칩니다.

핵심 요소
단파 적외선을 기반으로 애싱 히터를 설계했으며, 빠르고 반복 가능한 반응 속도를 가진 쿼츠-할로겐 방출기 배열을 사용했습니다. 베이크 존 내에서 웨이퍼 수준의 균일도가 ±0.1℃ 이내이며, 스트립 사이클 전체에 걸쳐 설정 온도를 유지하는 온도 제어가 가능합니다. 시스템은 Class 1–100 클린룸 환경에서 무입자 발생 상태로 작동하며, 인-시투 모니터링을 통해 검증되었습니다. 5,000시간 이상 안정적인 출력이 가능하며, 출력 강도 변동은 5% 미만입니다.