http://infra-quartz-heat.com/ko/tags/%EA%B5%AC%EC%97%AD%EB%B3%84%EB%A1%9C-%EB%B6%84%EB%A5%98%EB%90%A8/ Recent content in 구역별로 분류됨 on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo ko Thu, 02 Jul 2026 09:40:56 +0800 http://infra-quartz-heat.com/ko/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Thu, 02 Jul 2026 09:40:56 +0800 http://infra-quartz-heat.com/ko/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="첨단 웨이퍼 제조 공장을 위한 구역별 난방 시스템"></p> <p>팹 내에서 포토레지스트를 소프트 베이크하는 과정에서 온도가 1°C만 변해도 치명적인 결과를 초래할 수 있으며, 그로 인해 많은 웨이퍼가 폐기됩니다. 일반적인 오븐들은 챔버 전체를 가열하지만, 웨이퍼 자체는 가열하지 않습니다. 우리는 열을 웨이퍼에 직접 전달할 수 있는 구역별 가열 시스템을 만들었습니다. 이를 통해 각 필름의 열적 특성을 유지할 수 있습니다.</p>