http://infra-quartz-heat.com/ko/tags/%EA%B1%B4%EC%A1%B0/ Recent content in 건조 on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo ko Mon, 20 Jul 2026 11:50:00 +0800 http://infra-quartz-heat.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 20 Jul 2026 11:50:00 +0800 http://infra-quartz-heat.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터"></p> <p>MEMS 웨이퍼 건조 과정에서 발생하는 램프 폭발의 재앙을 막는 방법<br> 고부하 환경에서 작업해본 사람이라면 그 스트레스를 잘 알 것입니다. 하지만 MEMS 웨이퍼를 건조하는 동안 IR 램프가 폭발하는 것만큼 끔찍한 상황은 없습니다.<br> 문제는 단순히 생산라인이 멈추는 것뿐만 아니라, 그 후에 일어나는 여파도 심각합니다. 석영 조각과 텅스텐 필라멘트들이 웨이퍼 위로 떨어지게 되는 것입니다. 이건 완전한 재앙입니다. 우리는 이런 일이 절대 일어나지 않도록 하는 방법을 찾기 위해 많은 시간을 투자했습니다.</p> http://infra-quartz-heat.com/ko/posts/energy-audit-for-fab-drying/ Sat, 18 Jul 2026 04:13:14 +0800 http://infra-quartz-heat.com/ko/posts/energy-audit-for-fab-drying/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="공장 건조 공정을 위한 에너지 감사"></p> <p>왜 모든 램프를 반드시 테스트해야 하는가? (그리고 그것이 귀하의 생산 공정에 어떤 영향을 미치는지)</p> <p>생산 라인에서는 가열 요소들이 계속해서 열을 받고, 식고, 진동을 겪습니다. 대부분의 사람들은 문제가 생기기 전까지는 이 점을 고려하지 않습니다. 하지만 절연체에 아주 작은 균열이 생긴다면, 그건 단순한 기술적 결함이 아닙니다. 그로 인해 생산 라인이 멈추거나, 제품이 망가지거나, 최악의 경우 사람이 다칠 수도 있습니다.</p> http://infra-quartz-heat.com/ko/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ Fri, 03 Jul 2026 15:32:00 +0800 http://infra-quartz-heat.com/ko/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="웨이퍼 건조용 할로겐 IR 에미터"></p> <p>생산 현장에서는 단 한 개의 워터마크만으로도 전체 제품군이 망가질 수 있습니다. 기존의 건조 방식은 열 스트레스와 입자 오염이라는 두 가지 문제를 동시에 해결해야 하는 까다로운 상황에 처해 있습니다. 리소그래피 공정에서는 오차가 허용되지 않습니다. 포토레지스트 처리 과정에서 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 제품의 치수가 잘못될 수 있습니다. 이러한 문제들을 해결하기 위해 우리는 웨이퍼 건조용 할로겐 IR 송신기를 개발했습니다.</p>