http://infra-quartz-heat.com/ja/tags/%E7%84%BC%E3%81%8F/ Recent content in 焼く on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo ja Thu, 25 Jun 2026 05:15:02 +0800 http://infra-quartz-heat.com/ja/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Thu, 25 Jun 2026 05:15:02 +0800 http://infra-quartz-heat.com/ja/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="露光後ベイク PEB ヒーター"></p> <p>リソグラフィーフロアでは、PEBの温度誤差は、CDの偏差やオーバーレイのずれを引き起こす大きな要因となります。ウェハ全体にわたって1℃の温度不均一があるだけで、フォトレジストのパターンが規格から外れてしまい、何時間もかけて行った作業が無駄になってしまいます。私たちは、このような状況を防ぐために、露光後の加熱装置を設計しました。これにより、工程内での温度管理が可能になります。</p>