乾燥 on Infrared Quartz Heat Solutions

MEMSセンサーワーフ乾燥ヒーター

Mon, 20 Jul 2026 11:50:00 +0800

MEMSウェーハの乾燥処理におけるランプの爆発という悪夢を防ぐには、高負荷な生産環境で働いたことがある人ならそのストレスを理解しているでしょう。しかし、MEMSウェーハの乾燥処理中にIRランプが爆発するというのは、最悪の事態です。

工場乾燥設備のエネルギー監査

Sat, 18 Jul 2026 04:13:14 +0800

なぜ、すべてのランプをテストするのか（そして、それがお客様の生産ラインにとってなぜ重要なのか）製造現場では、加熱要素は常に厳しい環境にさらされています。絶えず加熱されたり冷却されたりし、振動も受けます。多くの人々は、何か問題が起きるまでそのことを気にしません。しかし、絶縁体にわずかなひび割れがあるだけでも、単なる「技術的な故障」にとどまりません。それは生産ラインの停止や製品の廃棄、最悪の場合は人命の危険につながります。だからこそ、私たちは「抜き打ち検査」は行いません。すべてのランプや加熱管は、工場を出る前に、十分な高電圧耐性試験と絶縁抵抗試験を受けます。

ウェーハ乾燥用ハロゲンIRエミッタ

Fri, 03 Jul 2026 15:32:00 +0800

製造現場では、わずかな水分でも全体の生産ロットを台無しにしてしまうことがあります。従来の乾燥方法では、一方で熱応力がかかり、もう一方で粒子汚染の問題があります。また、リソグラフィーにおいては、わずか0.5℃の温度変動だけでも、重要な寸法精度を損なってしまいます。そうした問題を解決するために、ウェハー乾燥用のハロゲンIRエミッターが開発されました。

技術的に重要な点 クォーツ製のケースの中には短波長のハロゲンランプがあり、数秒以内に直接IR光を放出します。これにより、対象領域内の温度を±0.1℃以内に保つことができ、ループ制御によって毎回同じ乾燥条件を実現できます。このシステムは、クラス1～100の清浄室環境下でも粒子の発生を抑え、ウェハーの熱バランスを保ちながら水分を除去します。