http://infra-quartz-heat.com/ja/tags/%E3%82%BE%E3%83%BC%E3%83%B3%E5%88%86%E3%81%91%E6%B8%88%E3%81%BF/ Recent content in ゾーン分け済み on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo ja Thu, 02 Jul 2026 09:40:56 +0800 http://infra-quartz-heat.com/ja/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Thu, 02 Jul 2026 09:40:56 +0800 http://infra-quartz-heat.com/ja/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="先進ウェーハファブ向けのゾーン別加熱システム"></p> <p>ファブ内では、フォトレジストのソフトベイク時に1℃の温度変動があっただけで、ウェーハの寸法が狂い、多くのウェーハが廃棄されてしまいます。従来のオーブンは、ウェーハ自体ではなくチャンバー全体を加熱します。私たちは、熱を必要な場所、つまりウェーハそのものに<a href="https://henruite.com">直接当</a>てるようなゾーン別加熱方式を採用しました。これにより、各フィルムの耐熱性の範囲内で効率的に加熱が行えます。</p>