Riscaldatore per sonda di wafer semiconduttori

Fri, 26 Jun 2026 05:39:51 +0800

Nel reparto di produzione, la scheda di prova si trova sotto il microscopio, pronta per essere utilizzata con il prossimo lotto di wafer. Se la temperatura del wafer varia anche solo di una frazione di grado, i parametri di funzionamento vengono compromessi e la qualità dei prodotti diminuisce. Abbiamo creato questo Riscaldatore apposta per eliminare tali variazioni, proprio nel punto in cui la sonda entra in contatto con il wafer.

Quello che è davvero importante durante il test
L’apparecchio utilizza elementi a infrarossi a corta lunghezza d’onda per riscaldare il wafer, grazie a un percorso termico in quarzo. Questo sistema permette una risposta rapida e riduce l’inerzia termica. La uniformità della temperatura su tutto il wafer rimane entro i ±0,1°C, mentre la ripetibilità tra i vari cicli di produzione è alta, poiché il circuito di controllo è integrato direttamente nella parte di lavoro, e non nel corpo del riscaldatore stesso. Il design dell’apparecchio è compatibile con le normali stazioni di prova; inoltre, la zona di riscaldamento è isolata, in modo che il movimento delle componenti non causi disturbi. L’apparecchio può essere utilizzato in ambienti di tipo Cleanroom Class 1–100, grazie all’utilizzo di materiali sigillati e a un flusso d’aria controllato.

Sonda on Infrared Quartz Heat Solutions

Riscaldatore per sonda di wafer semiconduttori