
Mempertahankan Kebersihan Wafer Saat Suhu Tinggi
Jika Anda mengoperasikan jalur produksi dengan beban kerja yang tinggi, Anda pasti sudah mengenal situasi buruk yang bisa terjadi. Misalnya, bohlam meledak. Dengan demikian, serpihan kuarsa dan tungsten yang telah menguap akan jatuh ke atas wafer tersebut. Ini bukan sekadar gangguan sementara saja; ini merupakan bencana kontaminasi yang bisa merusak seluruh batch produk yang dihasilkan.
Itulah mengapa kami merancang bohlam IR berreflektor emas sedemikian rupa. Kami ingin mencegah bencana tersebut sebelum terjadi.
Mengatasi Masalah Panas
Sebagian besar bohlam rusak akibat efek termal atau titik-titik panas yang tidak merata. Untuk mengatasi hal ini, kami menggunakan kuarsa murni yang berkualitas tinggi. Kuarsa ini mampu menahan perubahan suhu drastis dari suhu ruangan hingga suhu ekstrem tanpa retak.
Lalu, apa fungsi reflektor emas tersebut? Fungsinya bukan hanya membuat bohlam lebih efisien, tetapi juga untuk mengarahkan radiasi IR ke atas, sehingga panas tidak sampai ke bagian housing dan koneksi-koneksi yang seharusnya tidak terkena panas.
Tips Penting
Perhatikan kapasitas daya suplai listriknya. Daya tersebut harus sesuai persis dengan spesifikasi tegangan bohlam. Memang menggoda untuk menaikkan tegangan bohlam agar suhu mencapai target lebih cepat, tetapi jangan lakukan itu. Hal tersebut akan merusak filamen bohlam dan menyebabkannya meledak.
Mencegah Partikel Kontaminan
Dalam hal kontaminasi, hal yang paling penting adalah ketahanan lapisan pelindung pada bohlam. Kami menggunakan metode deposisi vakum untuk membuat lapisan emas, sehingga lapisan tersebut tidak akan terkelupas saat suhu meningkat. Jika lapisan tersebut terkelupas, partikel-partikel akan jatuh ke atas wafer, yang tentu saja tidak baik.
Tapi, harus diakui bahwa tidak ada bohlam yang benar-benar tak terbakar. Itulah mengapa kami selalu menyarankan penggunaan pelindung berbentuk sleeve kuarsa atau pelindung khusus. Anggaplah hal ini sebagai asuransi untuk melindungi wafer dari kerusakan. Jika bohlam meledak, pelindung tersebut akan menahan serpihan-serpihan tersebut agar tidak jatuh ke wafer.
Beberapa Hal yang Perlu Diperhatikan
Reflektor emas merupakan standar terbaik untuk kemampuan refleksi IR, tetapi bahan ini cukup lunak—jauh lebih lunak daripada aluminium. Tolong sampaikan kepada tim Anda: jangan gunakan bahan kimia abrasif. Jika Anda membersihkan bohlam dengan bahan kimia tersebut, lapisan emas akan rusak, sehingga bohlam akan rusak lebih cepat. Gunakan saja udara bertekanan atau pelarut khusus.
Selain itu, pastikan petugas pemeliharaan memakai sarung tangan. Minyak kulit mungkin tampak tidak berbahaya, tetapi minyak tersebut dapat merusak lapisan kuarsa dan menyebabkan kelelahan struktural pada kuarsa. Meskipun ini merupakan detail kecil, tetapi hal ini sangat mempengaruhi umur bohlam.