सेंसर on Infrared Quartz Heat Solutions

वेफर टूल के लिए तापमान सेंसर

Thu, 23 Jul 2026 12:16:46 +0800

स्मार्ट फैब में ऊष्मा पर नियंत्रण रखना

स्मार्ट फैब बनाने का मतलब सिर्फ़ अपने उपकरणों में सेंसर लगाकर बेहतर परिणामों की आशा करना ही नहीं है। वास्तव में, इसका मतलब है ऊष्मा संबंधी प्रक्रियाओं को ठीक से समझना।
वेफरों के प्रसंस्करण हेतु, हमने गैर-संपर्कीय इन्फ्रारेड (IR) प्रणालियों का उपयोग किया है। इन्फ्रारेड प्रणालियों की खूबी यह है कि ये वेफर को छूती ही नहीं। चूँकि कोई संपर्क ही नहीं होता, इसलिए कोई संदूषण भी नहीं होता। इसके अलावा, सेंसरों के कारण ऊष्मा-संबंधी आंकड़ों में गड़बड़ी होने की चिंता भी नहीं होती। ऐसी प्रणालियाँ दूर से ही ऊष्मा-संबंधी जानकारी एकत्र करती हैं।

स्मार्ट सेंसर पैकेजिंग – इन्फ्रारेड

Tue, 21 Jul 2026 09:47:11 +0800

अपने सेंसरों के पैकेजिंग में होने वाली ऊर्जा-हानि को रोकें।
जब आप स्मार्ट सेंसरों के लिए वेफरों को सुखाते/भूनते हैं, तो हर वॉट का महत्व होता है। वास्तविक चुनौती तो ऊर्जा उत्पन्न करना ही नहीं, बल्कि यह सुनिश्चित करना भी है कि वह ऊर्जा वास्तव में वेफर तक पहुँचे, न कि केवल मशीन के अंदर ही गर्मी पैदा करे।
यहीं पर सोने की परत का उपयोग काम आता है। यह ऊर्जा-प्रबंधन की प्रक्रिया को पूरी तरह बदल देता है।
सोना क्यों?
अधिकांश लोग एल्यूमीनियम के रिफ्लेक्टरों का उपयोग करते हैं, लेकिन इनमें समस्या यह है कि ये बहुत अधिक ऊर्जा अवशोषित कर लेते हैं। सोना ऐसा नहीं है… यह इन्फ्रारेड तरंगों को वापस उनकी जगह पर ही भेजने में बहुत प्रभावी है।
चैंबर को सोने की परत से ढककर, आप वास्तव में ऊर्जा के लिए एक “दर्पण” बना रहे हैं। इससे आप आवश्यक तापमान तक जल्दी ही पहुँच सकते हैं, बिना लैंपों पर अधिक वोल्टेज लगाए। यह एक बेहतर एवं कुशल तरीका है।
ऊर्जा को सही जगह पर भेजना
इसे ऐसे समझें – जैसे कि बिखरी हुई ऊर्जा को एक सटीक उपकरण में बदल दिया गया हो। ऊर्जा दीवारों में न जाकर, सीधे सिलिकॉन तक पहुँच जाती है।
इससे दो फायदे होते हैं – पहला, ऊर्जा-घनत्व बढ़ जाता है; दूसरा, तापमान में होने वाले उतार-चढ़ाव दूर हो जाते हैं। अब आपको ऐसी समस्याओं का सामना नहीं करना पड़ेगा, जिसमें किनारे जल जाते हैं, जबकि बीच का हिस्सा ठंडा ही रहता है। सब कुछ समान रहता है।
एक समस्या…
लेकिन यह कोई जादुई समाधान नहीं है… इसे किसी पुरानी मशीन में भी लागू नहीं किया जा सकता।
चूँकि सोना बहुत अधिक ऊर्जा को काम करने वाली सतह पर ही भेजता है, इसलिए लैंपों पर भी उस ऊर्जा का प्रभाव पड़ता है। यदि आपके पास उचित कूलिंग फैन एवं हीट सिंक न हों, तो आपके लैंप जल्दी ही खराब हो जाएँगे। आपको यह सुनिश्चित करना होगा कि मशीन में हवा आ सके।
एक और सलाह – यदि आपके प्रक्रिया-समय बढ़ रहे हैं, या प्रक्रिया ठीक से नहीं हो रही है, तो अपने रिफ्लेक्टरों की जाँच करें। जब उन परतों में दरारें या क्षरण होने लगता है, तो दक्षता कम हो जाती है, एवं बिजली-खर्च भी बढ़ जाता है। उन्हें साफ रखें, ताकि वे आपके लिए काम करते रहें।

एमईएमएस सेंसर वेफरों को सुखाने हेतु हीटर

Mon, 20 Jul 2026 11:50:00 +0800

MEMS वेफरों को सुखाने की प्रक्रिया में लैंप फटने की समस्या को रोकना
यदि आपने कभी उच्च-लोड वाले उत्पादन वातावरण में काम किया है, तो आपको वहाँ का तनाव पता ही होगा। लेकिन MEMS वेफरों को सुखाने के दौरान आईआर लैंप फटना तो वाकई एक भयानक स्थिति है।
यह सिर्फ उत्पादन प्रक्रिया में रुकावट ही नहीं है… इसके परिणाम भी भयानक होते हैं। क्वार्ट्ज के टुकड़े एवं टंगस्टन फिलामेंट वेफरों पर गिर जाते हैं… यह तो वाकई एक बड़ी आपदा है। हमने ऐसी स्थितियों से बचने के उपाय ढूँढने में बहुत समय लगाया।

वेफरों के लिए प्रीसिज़न आईआर सेंसर

Mon, 13 Jul 2026 17:54:23 +0800

हवा को गर्म करना बंद करें: वेफरों को संसाधित करने का एक बेहतर तरीका

यदि हम वाकई में कार्खानों में कार्बन-तटस्थता के लक्ष्यों को हासिल करना चाहते हैं, तो हमें उन पुराने तरह के ओवनों पर निर्भर रहना बंद करना होगा। ऐसे ओवन बहुत अधिक ऊर्जा खपत करते हैं। इसके बजाय, हम प्रीसिजन IR हीटिंग का उपयोग कर रहे हैं।
विचार बहुत ही सरल है – जबकि वेफर को ही गर्म करने की आवश्यकता है, तो पूरे वैक्यूम चैंबर या वेफर के आसपास की हवा को गर्म करने की क्या आवश्यकता है? हम IR सेंसरों एवं लैंपों का उपयोग करके ऊर्जा को सीधे वेफर तक पहुँचाते हैं। इससे अनावश्यक ऊर्जा की बर्बादी नहीं होती।

हाइड्रोजन सेंसर निर्माण हेतु हीटर

Mon, 29 Jun 2026 07:44:22 +0800

फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, हाइड्रोजन सेंसर हीटर, तापीय परिवर्तनों को सहन नहीं कर पाते। “सॉफ्ट बेक” या “हार्ड बेक” प्रक्रिया के दौरान 2°C का परिवर्तन भी क्रिटिकल डाइमेंशनों में तेजी से परिवर्तन ला देता है; ऐसी स्थिति में कणों का निर्माण होता है, जिससे उत्पादन में कमी आ जाती है। यहाँ आवश्यकता तो पुनरावृत्ति क्षमता है… केवल “सहनशीलता” ही पर्याप्त नहीं है।

यहाँ जो महत्वपूर्ण है, वह है क्वार्ट्ज एवं सिरेमिक सामग्री का उपयोग करके शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्वों के आधार पर हीटर बनाना। ऐसा करने से वेफरों पर तापमान स्थिर रहता है, और यह ±0.1°C के भीतर ही रहता है। तापमान में परिवर्तन भी पुनरावृत्ति योग्य होता है; इससे फोटोरेसिस्ट के लिए आवश्यक तापमान सीमा बनी रहती है।