उन्नत वेफर निर्माण सुविधाओं हेतु क्षेत्रवार तापन प्रणाली

Thu, 02 Jul 2026 09:40:56 +0800

फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को नरम करने की प्रक्रिया में 1°C का अंतर ही उत्पादों के आयामों में बदलाव ला सकता है; इससे बहुत सारे वेफर बर्बाद हो जाते हैं। पारंपरिक ओवनों में तो केवल चेंबर ही गर्म होता है, वेफर खुद नहीं। हमने ऐसी व्यवस्था विकसित की है, जिससे ऊष्मा सीधे वेफर पर ही पहुँचे, एवं हर फिल्म के लिए निर्धारित तापमान सीमा का पालन हो सके।

तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें
हमारे ज़ोन्ड स्टाइल के इन्फ्रारेड मॉड्यूल, एक्टिव ज़ोन में वेफर के तापमान को ±0.1°C की सीमा में बनाए रखते हैं; हजारों चक्रों के बाद भी तापमान में ±0.5°C से अधिक का अंतर नहीं आता। शॉर्ट-वेव एमिटरों की मदद से फोटोरेजिस्ट को जल्दी ही नरम/कठोर अवस्था में लाया जा सकता है। कार्बन-फाइबर-रहित डिज़ाइन की वजह से, आवश्यक स्थानों पर कणों की संख्या कम रहती है – यानी क्लास 1–100 वाले वातावरण में। यह सिस्टम 24/7 काम करता है, एवं 5,000+ घंटों तक भी आउटपुट स्थिर रहता है।

जोनीकृत on Infrared Quartz Heat Solutions

उन्नत वेफर निर्माण सुविधाओं हेतु क्षेत्रवार तापन प्रणाली