http://infra-quartz-heat.com/hi/tags/%E0%A4%89%E0%A4%9C%E0%A4%BE%E0%A4%97%E0%A4%B0%E0%A5%80-%E0%A4%AA%E0%A5%8D%E0%A4%B0%E0%A4%95%E0%A4%9F%E0%A5%80%E0%A4%95%E0%A4%B0%E0%A4%A3/ Recent content in उजागरी; प्रकटीकरण on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo hi Thu, 25 Jun 2026 05:15:02 +0800 http://infra-quartz-heat.com/hi/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Thu, 25 Jun 2026 05:15:02 +0800 http://infra-quartz-heat.com/hi/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="पोस्ट एक्सपोजर बेक (PEB) हीटर"></p> <p>लिथोग्राफी प्रक्रिया में, PEB तापमान संबंधी त्रुटियाँ CD मानों में व्यवधान एवं ऑवरले ड्रिफ्ट का कारण बनती हैं। वेफर पर 1°C की भी असमानता, फोटोरेजिस्ट के गुणधर्मों को बिगाड़ सकती है, जिससे घंटों का काम बर्बाद हो जाता है। हमने ऐसे हीटर बनाए हैं, ताकि प्रक्रिया के दौरान तापमान स्थिर रहे।</p> <p><strong>प्रक्रिया के दौरान क्या महत्वपूर्ण है?</strong><br> हम क्वार्ट्ज विंडो के पीछे शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड हेलोजन तत्वों का उपयोग करते हैं; इससे त्वरित एवं सीधा तापन होता है। वेफर पर तापमान स्थिर रहता है – ±0.1°C के भीतर। इस प्रकार, लॉट 1 एवं लॉट 1000 में भी तापमान समान ही रहता है। यह मॉड्यूल क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में उपयोग हेतु उपयुक्त है; इसमें कम गैस निकलती है, एवं कणों का नियंत्रण भी अच्छी तरह होता है। बेकिंग के दौरान कोई कण न बने, यह तो स्वाभाविक ही है… क्योंकि टूल इंटरफ़ेस पर ही कणों की निगरानी की जाती है।</p>