http://infra-quartz-heat.com/he/tags/peb/ Recent content in (PEB) on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo he Thu, 25 Jun 2026 05:15:02 +0800 http://infra-quartz-heat.com/he/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Thu, 25 Jun 2026 05:15:02 +0800 http://infra-quartz-heat.com/he/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="מחמם לאחר חשיפה (PEB)"></p> <p>בשלב הליתוגרפיה, שגיאות בטמפרטורה של המערכת PEB עלולות לגרום לשינויים ברוחב הקווים על הוואפר, ולכן יש צורך בשליטה קפדנית בטמפרטורה. שונות של 1°C בין חלקי הוואפר יכולה לגרום לחריגות בפרופילי הפוטורזיסט, דבר שעלול לגרום לבזבוז שעות עבודה רבות. יצרנו את מערכות החימום PEB כדי לשמור על הטמפרטורה בתוך הטווח הרצוי, בכל סדרת ייצור.</p> <p><strong>מה חשוב באמת?</strong> אנו משתמשים ברכיבי הלוגן באור אינפרא-אדום בתדר נמוך, הממוקמים מאחורי חלון קוורץ, כדי לאפשר חימום מהיר ויעיל. שונות הטמפרטורה על הוואפר נשארת בטווח של ±0.1°C, והדיוק בשליטה בטמפרטורה הוא ברמת מילישניות. כך, אותו פרופיל תרמי נשמר בכל סדרת ייצור. המערכת מתאימה לשימוש בחדרי ייצור מסוג Class 1–100, עם חומרים שאינם פולטים גזים ועם שליטה ברמת החלקיקים. אין ייצור של חלקיקים במהלך החימום – דבר זה מוודא על ידי מעקב אחר החלקיקים בזמן אמת, ישירות במקום העיבוד.</p>