כאן תמצאו את העמודים אשר משתמשים בטקסונומיה “(PEB)” מחמם לאחר חשיפה (PEB) בשלב הליתוגרפיה, שגיאות בטמפרטורה של המערכת PEB עלולות לגרום לשינויים ברוחב הקווים על הוואפר, ולכן יש צורך בשליטה קפדנית בטמפרטורה. שונות של 1°C בין... Read more...
מחמם לאחר חשיפה (PEB) בשלב הליתוגרפיה, שגיאות בטמפרטורה של המערכת PEB עלולות לגרום לשינויים ברוחב הקווים על הוואפר, ולכן יש צורך בשליטה קפדנית בטמפרטורה. שונות של 1°C בין... Read more...
