http://infra-quartz-heat.com/he/tags/%D7%94%D7%9C%D7%95%D7%92%D7%9F/ Recent content in הלוגן on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo he Fri, 03 Jul 2026 15:32:00 +0800 http://infra-quartz-heat.com/he/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ Fri, 03 Jul 2026 15:32:00 +0800 http://infra-quartz-heat.com/he/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="פולט אינפרא אדום על בסיס הלוגן לייבוש שבבים"></p> <p>במחלקת הייצור, סטייה קטנה בטמפרטורה יכולה לפגוע בכל אצווה של שבבים. שיטות הייבוש המסורתיות מציבות אתגרים רבים – לחץ תרמי מצד אחד, וזיהום על ידי חלקיקים מצד שני. בתהליך הליתוגרפיה, אי אפשר להרשות לעצמנו שום סטייה – סטייה של 0.5°C במהלך תהליך העיבוד של הפוטורזיסט עלולה לפגוע בממדים החיוניים של השבב. לכן פיתחנו מקור אור הלוגן באורך גל אינפרא-אדום, שנועד לייבש את השבבים ולחסל את השינויים האלו.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> בתוך המעטפת של הקוורץ ישנה נורה הלוגן בעלת אורך גל קצר, שמפיצה אור אינפרא-אדום במהירות. אנו שומרים על אחידות הטמפרטורה באזור המטרה בטווח של ±0.1°C, ובזכות שליטה אוטומטית, התהליך נשאר עקבי מרוץ לרוץ. המערכת פועלת ללא שום חלקיקים בחדרים נקיים מסוג Class 1–100, והפרופיל התרמי נשאר יציב – כך שהשבב נשאר בתנאים התרמיים הנכונים, והלחות נעלמת ללא פגיעה בשבב.</p>