Circuit intégré de pilote d affichage avec chauffage intégré

Sun, 07 Jun 2026 04:13:03 +0800

Sur le plancher de fabrication, une ligne de circuits intégrés (CI) de pilote d’affichage ne peut pas tolérer la dérive thermique. Le séchage des wafers après nettoyage, le pré-bassage et post-bassage du photorésist avant la lithographie, ainsi que la polymérisation du package après encapsulation, se résument à une seule exigence : une température reproductible, à chaque cycle. Lorsque le chauffage dévie, le rendement de la ligne diminue et le comptage des particules augmente.

Ce qui compte, techniquement
Nous avons conçu le système de chauffage pour le traitement des CI pilote d’affichage autour d’un contrôle thermique strict. Il maintient l’uniformité au niveau wafer à ±0,1°C sur la zone active, garantissant que le photorésist subit le même profil de cuisson, lot après lot. Il est compatible salle blanche de classe 1 à classe 100, et son design n’ajoute aucune particule pendant son fonctionnement. La répétabilité n’est pas un ajout secondaire. Elle est intégrée dans la boucle de contrôle et la géométrie de la zone chaude.

Conducteur on Infrared Quartz Heat Solutions

Circuit intégré de pilote d affichage avec chauffage intégré