http://infra-quartz-heat.com/fa/tags/peb/ Recent content in (PEB) on Infrared Quartz Heat Solutions Hugo fa Thu, 25 Jun 2026 05:15:02 +0800 http://infra-quartz-heat.com/fa/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Thu, 25 Jun 2026 05:15:02 +0800 http://infra-quartz-heat.com/fa/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://infra-quartz-heat.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="هیتر پخت پس از قرار گیری در معرض تابش (PEB)"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، خطای دمایی PEB می‌تواند منجر به اختلالات در کیفیت سطح ورقه‌های شیشه‌ای شود. حتی ۱ درجه سانتی‌گراد تفاوت دمایی در سطح ورقه، می‌تواند باعث اختلال در پروفایل‌های فوتورزیست و اتلاف ساعت‌ها زمان تولید شود. ما هیترهای PEB را طوری طراحی کرده‌ایم که پروفایل دمایی را در محدوده مشخص شده نگه دارند، و این کار برای هر دسته از ورقه‌ها صادق است.</p> <p><strong>چه چیزهایی اهمیت دارند؟</strong> ما از عناصر هالوژنی موج کوتاه مادون قرمز برای گرم کردن سریع و مستقیم ورقه‌ها استفاده می‌کنیم؛ این روش باعث می‌شود پروفایل دمایی در سطح ورقه در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد باقی بماند. همچنین، تکرارپذیری این فرآیند در حد چند میلی‌ثانیه است؛ بنابراین پروفایل دمایی یکسانی برای هر دسته از ورقه‌ها حاصل می‌شود. این ماژول برای استفاده در اتاق‌های پاک با کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین، از موادی با میزان گاز خارج شونده کم و مسیری با کنترل دقیق ذرات استفاده شده است. عدم تولید هیچ ذره‌ای در حین فرآیند گرم کردن، یک ویژگی مهم است؛ این موضوع از طریق نظارت بر ذرات در لحظه استفاده از دستگاه، تأیید می‌شود.</p>