دیگر نیازی به گرم کردن فضای خالی نیست؛ چرا که استفاده از لامپهای مادون قرمز در شرایط خلأ، راه حل مناسبی است.
اگر در زمینه فرآوری نیمههادی کار میکنید، احتمالاً مدت زمان زیادی را صرف انتظار برای رسیدن اتاقک فرآوری به دمای مناسب کردهاید. اکثر افراد از سیستم گرمایش هوای گرم استفاده میکنند، زیرا این روش استاندارد است. اما مشکل اینجاست که این روش کند عمل میکند؛ در واقع، شما هوا را گرم میکنید و سپس منتظر میمانید تا آن هوا ویفرها را گرم کند.
در شرایط خلأ، این کار صرفاً اتلاف وقت است.
به همین دلیل از لامپهای مادون قرمز در شرایط خلأ استفاده میکنیم. این لامپها به جای استفاده از هوا، از تابش الکترومغناطیسی برای گرم کردن سطح ویفرها استفاده میکنند. این روش بسیار کارآمدتر است.
هزینه واقعی انتظار
کمی درباره فیزیک فکر کنید؛ در روش گرمایش هوای گرم، باید منتظر بمانید تا اتاقک فرآوری به دمای مورد نیاز برسد. اما در روش مادون قرمز، انتقال انرژی تقریباً بلافاصله اتفاق میافتد.
شاید این موضوع جزئی به نظر برسد، اما وقتی که در خطوط تولید با حجم بالا کار میکنید، چند دقیقه صرفهجویی در هر چرخه، در نهایت میتواند معادل هزاران ویفر بیشتر باشد. این یک مزیت بزرگ برای سودآوری شماست.
حفظ تمیزی در شرایط خلأ
کار در شرایط خلأ، چالشهای خاص خود را دارد؛ نمیتوان از فن برای خنک کردن بدنه لامپ استفاده کرد.
برای حل این مشکل، از ظروف کوارتزی و موادی استفاده میکنیم که گازی تولید نکنند. این کار باعث میشود ویفرها تمیز و بدون آلودگی باقی بمانند. علاوه بر این، میتوانید گرمای زیادی را در فضای کوچکی تولید کنید؛ بنابراین میتوانید مناطق خاصی روی سطح ویفر را گرم کنید، بدون اینکه کل اتاقک گرم شود.
معایب
البته این روش کاملاً بینقص نیست؛ تابش مادون قرمز با شدت بالا، فشار زیادی بر سیستم تأمین انرژی وارد میکند و نیاز به کنترل دقیق PID دارد.
اگر حسگرها کمی اشتباه عمل کنند، ممکن است دمای مورد نظر را فراتر رفت و ویفرها خراب شوند. بنابراین نیاز به یک سیستم بازخورد سریع وجود دارد.
اما وقتی که این سیستمها به درستی تنظیم شوند، دیگر نیازی به اتلاف انرژی برای فضای خالی در اتاقک فرآوری نیست؛ انرژی میتواند مستقیماً به نقاط مورد نظر هدایت شود.