Calentamiento por infrarrojos en el proceso de calcinación

Wed, 03 Jun 2026 10:18:34 +0800

En la planta de fabricación, el ashing no es opcional: es el paso térmico que elimina el photoresist de forma limpia, sin dañar las películas subyacentes. Si la temperatura se desvía o el perfil cae, se generan residuos. El rendimiento de línea se ve afectado y la pila de litografía lo paga.

Lo que importa bajo el capó
Construimos el calentador de ashing alrededor del infrarrojo de onda corta, utilizando un conjunto de emisores de cuarzo-halógeno que responde de manera rápida y repetible. Se logra una uniformidad a nivel de wafer dentro de ±0.1°C en toda la zona de horneado, y un control de temperatura que mantiene el punto de consigna durante todo el ciclo de stripping. El sistema opera en salas limpias Clase 1–100 sin generar partículas, verificado mediante monitoreo in situ. Proporciona una salida estable por más de 5,000 horas, con una deriva de intensidad inferior al 5%.

Formación De Cenizas on Infrared Quartz Heat Solutions

Calentamiento por infrarrojos en el proceso de calcinación