Wafer on Infrared Quartz Heat Solutions

Temperatursensor für Wafernwerkzeuge

Thu, 23 Jul 2026 12:16:46 +0800

Die Kontrolle der Temperatur in einer intelligenten Fabrik
Der Aufbau einer intelligenten Fabrik bedeutet nicht einfach nur, eine Reihe von Sensoren an die Werkzeuge anzubringen und auf das Beste zu hoffen. Es geht vielmehr darum, die Art und Weise zu ändern, wie man mit der Temperatur umgeht.

Für den Prozess der Waferverarbeitung setzen wir auf kontaktlose Infrarotsensoren. Der Vorteil dieser Sensoren ist, dass sie den Wafer nicht berühren. Keine Berührung bedeutet auch keine Kontamination. Zudem muss man sich keine Sorgen machen, dass die Sensoren als Wärmeableiter fungieren und die Messwerte verfälschen könnten. Die Sensoren überwachen den Prozess einfach aus der Ferne.

Reflektor für Wafer Härtungslampe

Tue, 21 Jul 2026 09:33:14 +0800

Wie wir das Problem mit den Staubpartikeln bekämpfen:
Wenn man in einem Reinraum der Klasse 100 arbeitet, gibt es nichts wie „einen kleinen Hauch“ Staub. Schon eine einzelne Staubpartikel oder ein Ausdünstungsprozess durch billige Heizelemente kann dazu führen, dass die gesamte Charge an Silizium wertlos wird. Das ist ein Albtraum.

Deshalb verwenden wir keine Standardmaterialien. Für unsere IR-Härtungslampen und Reflektoren nutzen wir hochreines synthetisches Quarz.

Das Geheimnis liegt im Silizium.
Die meisten Lampen verwenden gewöhnliches Quarz – doch wir entfernen alle Verunreinigungen, damit metallische Ionen nicht in das System eindringen können. Wenn Sie schon einmal gesehen haben, wie eine Lampe während des Betriebs Rauch ausstößt, wissen Sie genau, was wir vermeiden wollen. Wir verschließen die Quarztubes fest, damit kein Halogensauerstoff in den Arbeitsbereich gelangt. So bleibt alles sauber.

Energieeffizienter Waferheizer

Mon, 20 Jul 2026 12:04:51 +0800

Hören Sie auf, Energie zu verschwenden!
Seien wir ehrlich: Die Erwärmung der Wafern ist in der Regel ziemlich ineffizient. Wenn Sie Standard-Quarzlampen verwenden, zahlen Sie im Grunde für Energie, die niemals den Produkt erreicht. Diese Lampen strahlen Wärme in alle Richtungen ab – die Hälfte dieser Energie geht einfach verloren. Das ist eine Verschwendung.

Wir haben eine bessere Lösung gefunden: Wir verwenden goldbeschichtete Reflektoren, um die verlorene Energie zurück auf die Wafer zu leiten.

Warum Gold?
Sie fragen sich vielleicht, warum wir nicht einfach poliertes Aluminium verwenden. Aluminium eignet sich zwar für sichtbare Objekte, doch hier geht es um Infrarotstrahlung. Gold ist hier viel effektiver – es reflektiert Infrarotwellen mit beeindruckender Effizienz. Mit einer goldbeschichteten Oberfläche erreicht fast jede Wattstunde der Lampe tatsächlich das Zielobjekt. Dadurch erhöht sich der Wärmestrom erheblich – ohne dass man die Spannung oder die Leistung erhöhen muss. Es handelt sich dabei um eine intelligente Anwendung der Physik.

Trocknungsheizer für MEMS Sensorwafer

Mon, 20 Jul 2026 11:50:00 +0800

Das Ende des Albtraums durch geplatzte Lampen bei der Trocknung von MEMS-Chips
Wer schon einmal in einer Umgebung mit hohem Produktionsdruck gearbeitet hat, kennt den Stress. Doch nichts ist schlimmer als die Situation, in der eine Infrarotlampe während der Trocknung der MEMS-Chips plötzlich explodiert.

Es geht dabei nicht nur darum, dass die Produktion zum Stillstand kommt – es gibt noch weitere Probleme. Quarzkristalle und Wolframfilamente fallen auf die Chips herab – das ist einfach eine Katastrophe. Wir haben viel Zeit damit verbracht, herauszufinden, wie man verhindern kann, dass so etwas jemals passiert.

Sicherheitsabstand bei der Wärmebehandlung von Wafern

Tue, 14 Jul 2026 10:32:47 +0800

Warum wir auf Infrarot-Härtung für bleifreie Halbleiter umsteigen
Die Industrie setzt stark auf „grüne“ und bleifreie Standards. Das klingt auf dem Papier großartig – doch in der Praxis wird die Herstellung dadurch schwieriger.

Lange Zeit haben wir Konvektionsöfen verwendet. Das Problem dabei ist, dass man im Grunde nur eine riesige Menge Luft erhitzen muss. Das bedeutet Energieverschwendung – und außerdem ist das ein Risiko. Die bewegte Luft kann Partikel aufwirbeln, die anschließend direkt auf den Wafern landen.

Präziser IR Sensor für Wafer

Mon, 13 Jul 2026 17:54:23 +0800

Aufhören mit dem Erwärmen der Luft – eine smartere Methode zur Verarbeitung von Wafern
Wenn wir tatsächlich die Ziele der Kohlenstoffneutralität erreichen wollen, müssen wir auf die alten, energieintensiven Öfen verzichten. Stattdessen nutzen wir präzise IR-Heizmethoden.

Die Idee ist einfach: Warum soll die gesamte Vakuumkammer oder die Luft um den Wafer herum erhitzt werden, wenn nur der Wafer selbst erhitzt werden muss? Wir verwenden IR-Sensoren und -Lampen, um die Wärme genau dorthin zu leiten, wo sie benötigt wird. So wird keine Energie mehr in leere Bereiche verschwendet.

Halogen IR Emitter für die Trocknung von Wafern

Fri, 03 Jul 2026 15:32:00 +0800

In der Fertigungshalle kann bereits ein einziger Wasserzeichenfehler dazu führen, dass eine ganze Charge von Wafern unbrauchbar wird. Die traditionellen Trocknungsverfahren sind äußerst schwierig zu kontrollieren – auf der einen Seite entsteht thermischer Stress, auf der anderen Seite droht Kontamination durch Partikel. In der Lithografie darf man keine Fehler tolerieren: Eine Abweichung von 0,5°C während des Fotoleitwerk-Behandlungsprozesses kann dazu führen, dass die kritischen Abmessungen nicht mehr eingehalten werden. Deshalb haben wir den Halogen-IR-Strahler entwickelt, um diese Unsicherheiten auszugleichen.

Zonales Heizen für fortschrittliche Waferfabriken

Thu, 02 Jul 2026 09:40:56 +0800

In der Fertigungsstätte reicht bereits eine Temperaturschwankung von 1 °C während des Weichbrennvorgangs aus, um die kritischen Abmessungen der Wafer zu beeinträchtigen – und dadurch viele Wafer unbrauchbar zu machen. Herkömmliche Öfen heizen den Raum, nicht direkt die Wafer selbst. Wir haben ein zonales Heizsystem entwickelt, das die Wärme genau dort abgibt, wo sie benötigt wird – also direkt auf den Wafer – und dabei innerhalb der zulässigen thermischen Grenzen bleibt.

Was technisch wichtig ist:
Unsere zonalen Infrarotmodule sorgen dafür, dass die Temperatur im aktiven Bereich bei ±0,1 °C konstant bleibt. Die Wiederholgenauigkeit der Einstellwerte liegt bei ±0,5 °C – auch nach Tausenden von Zyklen. Kurzwellenergiequellen ermöglichen es, die nötigen Temperaturen schnell zu erreichen. Das designs ohne Kohlefasern senkt außerdem die Anzahl der Partikel – ideal für Umgebungen der Klassen 1–100. Das System arbeitet 24/7 und kompensiert automatisch Temperaturschwankungen. So bleibt die Leistung über 5.000 Stunden hinweg stabil.

Heizer für Proben von Halbleiterwafeln

Fri, 26 Jun 2026 05:39:50 +0800

Auf der Fertigungsfläche befindet sich die Prüfkarte unter dem Mikroskop und wartet darauf, mit der nächsten Produktionscharge verwendet zu werden. Sollte die Temperatur des Wafers auch nur um einen Bruchteil eines Grades schwanken, schließt sich das Parameterfenster sofort – dadurch sinkt die Erfolgsrate bei der Produktion. Wir haben diesen Heizer entwickelt, um diese Schwankungen bereits dort zu verhindern, wo die Prüfspitze den Wafer berührt.

Was wirklich wichtig ist bei den Tests
Der Heizer nutzt Kurzwell-Infrarotelemente, die eine Quarzwärmeleitungsstruktur antreiben. Dadurch wird eine schnelle Reaktion sowie eine geringe thermische Trägheit erreicht. Auf der Waferoberfläche bleibt die Temperaturkonstanz bei ±0,1°C – zudem bleibt die Wiederholgenauigkeit hoch, da der Regelkreis direkt am Werkstück statt am Heizerkörper angeordnet ist. Der Heizer passt in herkömmliche Prüfstände ein; außerdem ist die heiße Zone isoliert, sodass Bewegungen des Prüftisches keine Störungen verursachen. Dank versiegelter Materialien sowie eines kontrollierten Luftstroms bleibt die Reinraumklasse 1–100 gewahrt.

Kosten der Infrarot Waferheizlampe

Tue, 23 Jun 2026 01:06:02 +0800

In der Fertigungshalle hat jede Wafer eine bestimmte thermische Toleranz – diese darf nicht überschritten werden. Selbst kleine Abweichungen von einem Bruchteil eines Grades können zu Schwankungen in der Dicke der Schicht auf der Waferoberfläche führen, was wiederum zu Problemen wie ungleichmäßiger Verteilung der Schicht oder geringerer Ausbeute führt. Der Preis einer Infrarot-Heizlampe ist nicht nur die Summe, die man bei der Bestellung bezahlt – er bezieht sich auch auf die Stabilität des Produktionsprozesses.

Was technisch wichtig ist: Unsere Infrarot-Heizlampen sorgen dafür, dass die Temperatur über die gesamte Oberfläche der Wafer gleichmäßig bleibt – mit einer Genauigkeit von unter einem Millimeter. In der Produktion halten wir die Temperaturschwankungen typischerweise auf ±0,1°C. Diese Präzision wird erreicht, indem das NIR-Spektrum an die Absorptionseigenschaften des Photoresists angepasst wird. Dadurch wird die Erwärmung schnell und kontaktlos erfolgen, wobei die Erwärmungsrate reproduzierbar ist. Das System ist für den Einsatz in Reinräumen der Klassen 1 bis 100 geeignet – während des Betriebs entstehen keine Partikel. Die Zuverlässigkeit des Systems wird durch kontinuierlichen Betrieb unter Beweis gestellt: Die Geräte können mehr als 5.000 Stunden lang betrieben werden, ohne dass es zu mehr als 5% Leistungsabfall kommt. Das bedeutet weniger ungeplante Stillstände und weniger notwendige Lampenaustausche.