UHP (Ultra High Purity) Heizlampe

Thu, 23 Jul 2026 12:03:10 +0800

Warum UHP-Infrarotbeleuchtung die richtige Lösung für umweltfreundliche Halbzeugherstellung ist
Die Halbleiterindustrie steht unter großem Druck, auf bleifreie Materialien umzusteigen und den Kohlenstoffverbrauch zu reduzieren. Es handelt sich dabei um ein schwieriges Gleichgewicht. Doch wenn man nach einer Möglichkeit sucht, diese Umweltziele zu erreichen, ohne die Produktionsgeschwindigkeit einzubüßen, dann sind UHP-(Ultra High Purity)-Infrarotlampen die ideale Lösung.

Im Grunde genommen geht es darum, die herkömmlichen Konvektionsöfen durch direkte Strahlungsenergie zu ersetzen.
Kein Heizen der Luft mehr nötig
Man muss nur daran denken, wie ein herkömmlicher Ofen funktioniert: Zuerst wird die Luft erhitzt, anschließend heizt diese Luft die Wafer auf. Das ist langsam und ineffizient – es ist, als würde man versuchen, einen Raum zu heizen, indem man zunächst den Flur erwärmt.
UHP-Lampen kommen um diesen Zwischenschritt herum. Sie strahlen kurzwelliges Infrarotlicht direkt auf das Substrat ab. Das geht sehr schnell. Dadurch müssen Sie nicht die gesamte Kammer erhitzen, um nur ein paar Wafer auf die richtige Temperatur zu bringen. Dadurch sinken die Energiekosten und die Aufwärmzeiten.

(Ultra on Infrared Quartz Heat Solutions

UHP (Ultra High Purity) Heizlampe