Kosten der Infrarot Waferheizlampe

Tue, 23 Jun 2026 01:06:02 +0800

In der Fertigungshalle hat jede Wafer eine bestimmte thermische Toleranz – diese darf nicht überschritten werden. Selbst kleine Abweichungen von einem Bruchteil eines Grades können zu Schwankungen in der Dicke der Schicht auf der Waferoberfläche führen, was wiederum zu Problemen wie ungleichmäßiger Verteilung der Schicht oder geringerer Ausbeute führt. Der Preis einer Infrarot-Heizlampe ist nicht nur die Summe, die man bei der Bestellung bezahlt – er bezieht sich auch auf die Stabilität des Produktionsprozesses.

Was technisch wichtig ist: Unsere Infrarot-Heizlampen sorgen dafür, dass die Temperatur über die gesamte Oberfläche der Wafer gleichmäßig bleibt – mit einer Genauigkeit von unter einem Millimeter. In der Produktion halten wir die Temperaturschwankungen typischerweise auf ±0,1°C. Diese Präzision wird erreicht, indem das NIR-Spektrum an die Absorptionseigenschaften des Photoresists angepasst wird. Dadurch wird die Erwärmung schnell und kontaktlos erfolgen, wobei die Erwärmungsrate reproduzierbar ist. Das System ist für den Einsatz in Reinräumen der Klassen 1 bis 100 geeignet – während des Betriebs entstehen keine Partikel. Die Zuverlässigkeit des Systems wird durch kontinuierlichen Betrieb unter Beweis gestellt: Die Geräte können mehr als 5.000 Stunden lang betrieben werden, ohne dass es zu mehr als 5% Leistungsabfall kommt. Das bedeutet weniger ungeplante Stillstände und weniger notwendige Lampenaustausche.

Kosten on Infrared Quartz Heat Solutions

Kosten der Infrarot Waferheizlampe